판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Semvision ADC Server #9154741

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AMAT / APPLIED MATERIALS Semvision ADC Server
판매
ID: 9154741
웨이퍼 크기: 12"
Scanning electron microscope, 12".
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Semvision ADC Server는 반도체 업계에서 가장 높은 수준의 성능을 제공하도록 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 (wafer), 마스크 (mask) 및 관련 포토 마스크 (photomask) 를 안전하게 검사하고 분석하기 위해 진공실 내에서 작동하는 이중 헤드 광학 현미경을 기반으로합니다. 이 장치는 고급 이미지 처리 알고리즘 (advanced image processing algorithms) 을 사용하여 높은 정밀도의 표본에서 결함을 감지합니다. 다양한 형상과 크기의 기판을 검사할 수 있으며, 두께 측정 (thickness measurement), 피쳐 분석 (feature analysis) 등 여러 가지 전문 분석 작업을 수행할 수 있습니다. 또한, 위치에 따른 결함 분류 및 분류도 기계에서 지원됩니다. 이 툴은 기본 수동 구성 (Basic Manual Configuration) 에서 보다 복잡한 자동 시스템 (Automated Systems) 에 이르기까지, 해당 애플리케이션의 운영 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 구성으로 제공됩니다. 이 제품은 사용자의 고유한 요구 사항에 맞게 조정할 수 있는 다양한 기능을 제공합니다 (영문). 여기에는 고해상도 이미징, 큰 초점, 자동 반음계 수차 수정, 자동 웨이퍼 레벨링이 포함됩니다. 에셋에는 "스마트 (smart)" 시각적 검사 소프트웨어 패키지가 장착되어 있어 복잡한 패턴을 감지하고 포괄적인 "스마트 (smart)" 결함 마스크를 빠르고 정확하게 생성할 수 있습니다. 또한 결함 있는 데이터 보고 및 유지 보수 기능을 통합하여 성능 및 사용자 친화적 운영을 극대화합니다. 저조도 (low-contrast) 결함을 감지하는 데 디지털 신호 처리를 사용할 수 있으며, 모델의 가상 창 (virtual window) 기능을 사용하여 신호 단점을 보완할 수 있습니다. 이 장비는 또한 내장 마스크 및 웨이퍼 표면 검사 알고리즘을 특징으로하여 표본의 잠재적 손상 또는 오염을 식별할 수 있습니다. 추가 조사 및 분석을 위해 수동 및 자동 단계 이동도 가능합니다. 이 시스템에는 모서리 및 영역 매핑, 정량적 표면 분석, 오버레이 측정, 해상도 향상 등 다양한 현장 (in-situ) 광학 측정 기능도 포함되어 있습니다. 이 장치는 여러 가지 형식으로 제공되며, 다양한 업그레이드와 유연성 (Flexibility) 을 제공하므로 운영 환경의 변화하는 요구에 맞춰, 시간이 지남에 따라 업그레이드할 수 있습니다. 기계에 다양한 액세서리 및 지원 자료 (예: 다양한 현미경 전용 액세서리, 이미징 패키지, 지원 자료) 도 제공됩니다. APPLIED MATERIALS/AMAT/APPLIED MATERIALS의 AMAT Semvision ADC Server는 안전하고 통제된 환경에서 빠르고 정확한 결과를 제공하도록 설계된 고성능 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 도구를 제공합니다. 다양한 기능과 유연한 구성 옵션을 통해, 모든 마스크 (mask) 또는 웨이퍼 (wafer) 검사 어플리케이션의 요구 사항에 맞게 에셋을 조정할 수 있습니다.
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