판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS / ORBOT WF 738 DUO #9287501

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AMAT / APPLIED MATERIALS / ORBOT WF 738 DUO
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ID: 9287501
Patterned wafer inspection system.
AMAT Orbotech AMAT/APPLIED MATERIALS/ORBOT WF 738 DUO Mask & Wafer Inspection 장비는 마스크와 웨이퍼 표면을 빠르고 자동화된 테스트 및 검토할 수 있도록 설계된 멀티 센서 플랫폼입니다. 이 시스템은 강력한 머신 비전 (machine vision) 기술과 이미지 분석 소프트웨어를 통합하여 빠르고 정확한 검사를 제공합니다. 이 장치의 하드웨어는 2 개의 독립적 인 MEV (다중 전자 전압) 소스, 6 메가 픽셀 카메라 쌍 및 LED 라이트 엔진을 갖춘 고 처리량, 자동 광학 서브 시스템으로 구성됩니다. "메브 '원 은 각기 다른" 에너지' 수준 을 제공 하도록 분리 하여 구성 할 수 있으며, 검사 대상 에 따라 "에너지 '를 정확 하게 조정 할 수 있다. 카메라는 흑백 (Monochrome) 과 컬러 (Color) 로 이미지를 캡처할 수 있으며 LED 광원 엔진은 최적의 이미지 품질을 위해 조명을 제어합니다. 이 부품은 0.2 미크론 (0.2 미크론) 이하의 고속 감지 및 이미징을 허용합니다. 이 기계는 정확한 결함 감지 및 분류를 용이하게하도록 설계된 통합 소프트웨어 패키지를 사용합니다. 이 소프트웨어는 고급 이미지 처리 알고리즘을 통합하여 자동 추적 (automatic tracking), 고정 탐지 (pinpoint detection) 및 표면 결함 및 이상에 대한 수정 기능을 제공합니다. 또한 AMAT WF 738 DUO는 참조 측정과 오버레이 도량형의 조합을 사용하여 3D 토폴로지 및 서피스 프로파일 정보를 감지 할 수 있습니다. 이 도구는 결함 검토를 위한 비용 효율적인 접근 방식을 제공하도록 설계되어, 웨이퍼 (Wafer) 와 마스크 (Mask) 모두에서 신속하게 결함을 감지하고 분석할 수 있습니다. 이미징 기술, 다중 에너지 플랫폼 및 고급 이미지 처리 알고리즘의 조합으로 ORBOT/Orbotech ORBOT WF 738 DUO는 마스크 및 웨이퍼 산업의 검사 및 결함 검토에 효과적입니다.
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