판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS / ORBOT WF 736 XS #293610298
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AMAT/Orbotech AMAT/APPLIED MATERIALS/ORBOT WF 736 XS는 복잡한 미세 구조에 대한 정확하고 빠른 분석을 제공하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 옵티컬 및 이미지 처리 기술을 결합하여 고성능, 고정밀 검사를 제공합니다. AMAT WF 736 XS 장치는 512 x 512 픽셀 해상도의 고급 이미징 머신과 디지털 줌 (zoom) 기능을 사용하여 마스크 및 웨이퍼의 선명하고 고해상도 이미지를 캡처합니다. 이 도구는 또한 고속 모션 스테이지 (motion stage) 와 모션 컨트롤러 (motion controller) 및 정확한 인코더 (encoder) 를 통합하여 검사 중에 웨이퍼 또는 마스크를 정확하게 탐색하고 배치합니다. ORBOT WF 736XS 에셋은 자동화된 검사 기능을 제공하여 사용자가 신속하게 결함을 파악하고 해결 작업을 수행할 수 있도록 합니다. 고급 이미지 인식 알고리즘은 입자 오염, 패턴 오정, 오해, 중요 치수 오류, 브리징 등 결함 및 이상을 식별하고 분류할 수 있습니다. 또한 이 모델은 대비 및 선명화, 거짓 색상 해석, 에지 향상, 3D 이미징 등의 다양한 이미지 처리 도구를 지원합니다. 이 장비는 기존의 단일 마스크 설계와 보다 복잡한 멀티 마스크 설계를 모두 분석 할 수 있습니다. 또한 WF 736 XS는 공정에 민감한 결함 배제를 내장하여 허위 양성 (false positive) 과 허위 부정 (false negative) 을 줄입니다. 또한, AMAT WF 736XS는 사용 편의성을 위해 설계되었으며, 검사 프로세스를 통해 사용자를 안내하는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 단순 결함 위치 (Simple Defect Location) 또는 자동 통과/실패 확인 (Automatic Pass/Fail Determination) 과 같은 다양한 직관적인 기능도 제공됩니다. G APPLIED MATERIALS WF 736 XS는 까다로운 생산 환경에 사용하기 위해 설계되었으며, 포괄적인 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 기능을 제공합니다. 이 장치는 단일/다중 마스크 설계, 고급 광학 기술, 이미지 처리 기능, 직관적인 사용자 인터페이스를 모두 검사하여 반도체 제작, MEMS 장치 생산 등 다양한 업종과 어플리케이션에 적합합니다 (영문).
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