판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS / ORBOT WF-736 XS DUO #293617607
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AMAT/APPLIED MATERIALS/ORBOT WF-736 XS DUO는 탁월한 성능과 직관적인 작동을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 자동 웨이퍼 정렬 (Automated Wafer Alignment), 고해상도 이미지 캡처 및 분석, 자동 결함 식별 (Automated Defect Identification) 및 분류, 단일 뷰 내에서 전체 웨이퍼를 검사하는 기능 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. AMAT WF-736 XS DUO에는 광학 및 전자 빔 이미징 모드를 모두 사용하여 다양한 기판 유형 및 기능에 최적화된 데이터 캡처를 제공하는 새로운 듀얼 빔 이미지 획득 모듈이 장착되어 있습니다. 이 장치는 고해상도, 풀 필드 (full-field) 디지털 라인 스캐너 (scanner) 와 통합되어 최대 120Mpixel의 밝은 필드 및 어두운 필드 이미지를 제작합니다. 또한, 이 기계는 3D 프로파일에 의한 결함의 지능적 인식, 정확한 기능 감지, 자동 결함 분류 등 다양한 자동 기능을 제공합니다. 이 도구는 최신 이미징 및 이미지 처리 기술로 구동됩니다. 여기에는 결함을 분류, 측정, 분류하기 위한 고급 이미지 필터링 알고리즘과 통계 분석 (statistical analysis) 을 제공하는 통합 이미지 처리 및 분석 에셋이 포함되어 있습니다. 이 모델에는 복잡한 구조와 레이아웃에서 작은 결함을 감지하는 데 사용할 수있는 고대비 이미지를 제공하는 디지털 브라이트 필드 이미징 장비 (Digital Bright Field Imaging Equipment) 도 있습니다. ORBOT WF-736 XS DUO는 또한 강화되고 직관적인 작업을 제공하는 고급 제어 소프트웨어를 제공합니다. 이렇게 하면 도구의 웨이퍼 적용 (wafer) 을 제어할 수 있으며, 사용자의 요구에 따라 이미징 매개변수를 쉽게 사용자정의할 수 있습니다. 또한, 시스템에는 웨이퍼 서피스에서 다이 패턴 (die pattern) 의 매개변수를 자동으로 감지하고 측정하는 고급 피쳐 인식 장치 (advanced feature recognition unit) 가 장착되어 있습니다. WF-736 XS DUO는 까다로운 반도체 업계에서 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 효율적이고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 이 기계 는 강력 한 "이미징 '기술 과 직관적 인 작업 의 결합 으로, 0.1um - 2um 에서 매우 다양 한 위험 한 결함 을 감지 할 수 있다. 수동 검사 (Manual Inspection) 와 관련된 시간과 비용을 대폭 절감하고, 중요한 운영 환경에서 효율적인 프로세스 흐름을 실현합니다.
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