판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Opal 9300 #9086218
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AMAT/APPLIED MATERIALS Opal 9300은 포괄적인 마스크 및 웨이퍼 결함 검사 기능을 제공하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 반도체 장치 생산 및 차세대 리소그래피 프로세스의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 장치는 웨이퍼의 마이크로 및 매크로 호환 결함을 식별하고 분류 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 이미지 처리 (image processing) 및 패턴 인식 (pattern recognition) 을 통해 광범위한 웨이퍼 결함을 식별할 수 있습니다. 이 도구는 고급 4K CCD 카메라와 강력한 초점 (focus) 기능을 활용하여 초소형 결함을 감지 할 수 있습니다. 에셋에는 매우 정확한 이미지 캡처 및 분석을 위해 높은 수치 조리개 (aperture) 와 4X 양안 광학 모델이 있습니다. 이것은 고속 이미지 처리 장비와 결합하여 시스템이 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 표면을 빠르고 정확하게 검사 할 수 있습니다. 이 장치에는 검사의 특정 파장을 선택할 수 있는 "컬러 필터 (color filter) '도 장착되어 있다. 이 기계는 또한 정밀 웨이퍼 정렬 (precision wafer alignment) 및 이미지 디코딩 (image decoding) 을 특징으로하며 결함의 정확한 감지 및 보고를 위해 많은 결함 식별, 분류 알고리즘 및 도구를 제공합니다. 이 도구는 또한 백사이드 이미징 (backside imaging) 및 다크 필드 이미징 (dark-field imaging) 과 같은 고급 도구를 사용하여 웨이퍼의 가장 어두운 영역에서 결함을 식별합니다. 자산은보다 정확한 검사 및 분석을 위해 멀티 플렉싱 및 듀얼 빔 스캔을 제공합니다. 이 모델은 또한 수동 검사 (manual inspection) 의 필요성을 줄이기 위해 고안되었으며, 기존의 대용량 제조 공정에 통합할 수 있는 고급 자동화 (automation) 기능을 갖추고 있습니다. 이 장비는 교정 (calibration) 및 이미징 도구 (imaging tools) 와 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있어 사용자가 쉽게 고정밀 이미지를 만들고 유지할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 다양한 데이터 로깅 및 보고 기능을 제공합니다. 여기에는 색상 코드 (color-coded) 결함 매핑이 포함되어 있어 결함 추세를 신속하게 파악하고 해결할 수 있습니다. 전반적으로, AMAT Opal 9300은 현대 반도체 장치 생산 및 차세대 리소그래피 프로세스의 요구를 충족하도록 설계된 강력하고 고도의 마스크 및 웨이퍼 검사 장치입니다. 이 기계는 정밀한 이미징 기술 (imaging technology) 과 알고리즘 (algorithm) 을 사용하여 다양한 마스크 및 웨이퍼 결함을 캡처, 처리, 분석할 수 있습니다. 또한, 이 툴은 수작업 (manual inspection) 의 필요성을 줄이고, 기존의 대용량 생산 프로세스에 통합할 수 있도록 설계되어, 오늘날의 고급 반도체 장치 (device manufacturing) 요구 사항에 이상적인 솔루션입니다.
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