판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS G3 #9399902

AMAT/APPLIED MATERIALS G3 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 혁신적인 통합 광학 기반 이미징 시스템입니다. 반도체 소자 제조 과정에서 마스크와 웨이퍼를 심층적으로 이미징할 수 있도록 설계되었습니다. AMAT G3 장치의 핵심에는 AMAT AMMES (Micro-electronics Solutions) optics 플랫폼이 있으며, 이 플랫폼은 혁신적인 렌즈와 필터 제품군을 사용하여 웨이퍼의 뛰어난 이미징을 제공합니다. 이것은 간섭 필터 및 필드 의존적 감쇠 장치 (field-dependent attenuator) 와 함께 위상 이동 광학 요소 배열을 사용하여 달성됩니다. 이 기계는 또한 디지털 이미지 캡처 (digital image capture) 기술을 사용하여 마스크 및 웨이퍼의 매우 상세한 디지털 이미지를 초당 최대 5,000 프레임으로 얻을 수 있습니다. APPLIED MATERIALS G3 마스크 및 웨이퍼 검사 도구 (APPLIED MATERIALS G3 Mask & Wafer Inspection Tool) 는 두 각도 (90 ° 및 180 °) 에 대해 단일 이미지 및 전체 필드 검사를 수행할 수 있으며 최대 128 개의 서로 다른 광도 매개 변수를 캡처할 수 있습니다. 와퍼의 오염, 결함, 회절 패턴 및 비 통일성을 분리하는 자동 결함 분류 기능이 특징입니다. 또한 에셋은 포커스 (focus) 와 조명 (illumination) 설정을 모두 자동으로 조정하여 이미지 품질을 최적화할 수 있는 강력한 자동 교정 도구를 제공합니다. G3 모델은 고급 마스크 패턴 매칭 알고리즘을 사용하므로 수동 매칭이 필요 없습니다. 이 기능을 사용하면 균열, 핀홀, 기형 트랜지스터, 관련 문제 등 다양한 결함을 식별, 감지, 분리할 수 있습니다. 또한 웨이퍼의 얼룩, 오염, 핀홀과 같은 표면 이상을 감지 할 수 있습니다. 이것 은 여러 가지 "테스트 패턴 '과 호환 되므로, 중요 한 측정 을 속도 와 정확도 로 수행 할 수 있다. 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 AMAT/APPLIED MATERIALS G3 장비를 쉽게 설정하고 작동할 수 있습니다. 터치스크린 (touch-screen) 작업을 통해 사용자는 신속하게 시스템을 변경할 수 있으며, 고급 이미징 (advanced imaging) 및 분석 (analysis) 옵션은 데이터를 포괄적으로 볼 수 있습니다. 이 장치는 또한 경보 알림 (Alarm Notification) 및 결함 추세 추적 (Defect Trend Tracking) 기능을 제공하여 라인 다운타임을 줄이고 수익률을 높이고 효율성을 높입니다. AMAT G3 마스크 & 웨이퍼 검사기 (AMAT G3 Mask & Wafer Inspection Machine) 는 반도체 소자 제조 과정에서 고수율 및 처리량을 제공하는 고품질 제품을 위한 안정적이고 효율적인 솔루션입니다. 작동이 쉽고, 사용자가 문제를 사전에 모니터링하고 파악할 수 있는 필요한 툴을 제공합니다 (영문).