판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Excite #9296120

ID: 9296120
Particle detection system.
AMAT/APPLIED MATERIALS Excite 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 반도체 웨이퍼의 고정밀 검사를 위해 자동화된 고정밀 광학 검사 시스템을 구현합니다. 이 장치는 광자, 전자, 이온 빔 (ion-beam) 감지 및 분석 시스템의 종합적인 라인을 제공하여 높은 수준의 유연성과 프로세스 제어를 가능하게합니다. AMAT Excite 마스크 및 웨이퍼 검사기 (wafer inspection machine) 는 나노미터 수준까지 측정할 수있는 고감도 광학 탐지 도구를 갖추고 있습니다. 탐지 에셋은 여러 개의 적외선 레이저 (infra-red laser) 에 의해 구동되며, 다양한 모양을 엄청나게 자세히 분석 할 수 있습니다. 또한, 검사 모델은 혁신적인 광장 이미징 (light-field imaging) 을 사용하여 이미지 내의 패턴과 결함을 신속하게 식별합니다. 첨단 소프트웨어 (Advanced Software) 알고리즘은 맨눈으로는 볼 수 없는 작은 결함을 즉시 식별하여 이러한 결함을 신속하게 수정할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Excite 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 Daugman 복합 필터를 사용하여 최대 감지 기능을 제공합니다. 이 필터는 고해상도 광학 검사 (Optical Inspection) 를 위해 설계되었으며, 대량 생산 비용 절감을 촉진하기 위한 목표입니다. 자동화된 광학 시스템과 자가 교정 (self-calibrating) 고해상도 (high-resolution optic) 의 조합으로 작은 결함을 빠르고 정확하게 파악할 수 있습니다. 이 장치에는 사용자 환경을 사용자 정의하고 데이터를 신속하게 분석하는 소프트웨어 (Software) 툴이 포함되어 있습니다. 여기에는 다양한 필터와 처리 옵션 (예: 여러 최적화 알고리즘, 자동 테스트 모드) 이 포함되어 있어, 피쳐와 결함을 신속하게 파악할 수 있습니다. 또한, 이 소프트웨어에는 미세한 3D 측정 모듈이 포함되어 있으며, 이를 통해 피쳐를 신속하게 분석하고 분류할 수 있으며, 배치 결함의 3 차원 시각화를 제공합니다. Excite 마스크 및 웨이퍼 검사기는 고해상도 및 고속 결함 감지를 제공하도록 설계되었습니다. 강력한 감지 도구, 정교한 소프트웨어, 3D 측정 기능을 갖춘 이 자산은 웨이퍼 (Wafer) 제작 프로세스에 대한 자세한 분석 및 피드백을 제공합니다. 이 모델은 최고의 정확성, 속도, 비용 효율성을 제공하도록 설계되었으며, 기존 운영 라인과 손쉽게 통합할 수 있으며, 신제품을 심층적으로 분석할 수 있습니다 (영문).
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