판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Excite #9254343

AMAT/APPLIED MATERIALS Excite는 고급 스캐닝 전자 현미경 (SEM) 및 이미징 기술을 사용하여 반도체 장치를 검사하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 미세한 구조에서 작은 입자 (small particle) 에 이르기까지 다양한 기능을 자세히 분석 할 수 있습니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 는 무대 위 에 놓여 진공 상태 를 이용 하여 제자리 에 놓여 있다. 그러면 고해상도 전자 빔 (electron beam) 이 표면을 가로 질러 스캔되어 샘플의 다양한 조성을 감지합니다. 이 스캔에서 얻은 읽기는 샘플의 3D 표현을 생성하는 데 사용되며, 결함이 정확하게 표시됩니다. 이 데이터를 사용하면 잠재적인 문제를 분석하고 파악할 수 있습니다 (영문). 검사가 필요한 규모에 따라 선택할 수 있는 "배율 (확대) 목표 '를 활용하면 이미징 기능을 더욱 강화할 수 있다. 이러한 목표에는 대조 개선 모드 (Contrast Enhancement Mode) 및 브라이트필드/다크필드 (Brightfield/Darkfield) 와 같은 다양한 필터 기능이 포함되어 있어 기계가 표시하는 세부 사항을 더욱 향상시킬 수 있습니다. 또한, 이 툴과 함께 제공되는 고급 소프트웨어 (advanced software) 는 사용자가 특정 프로세스를 자동화할 수 있는 기능을 제공하여, 여러 샘플을 연속적으로 신속하게 분석할 수 있게 해 줍니다. 이 소프트웨어에는 분석이 용이해지는 다양한 기능 (예: 샘플 (sample) 기능과 결함을 한 눈에 신속하게 파악할 수 있는 기능) 이 포함되어 있습니다. 이른바 "샘플 (Sample) '의 다양한 기능을 빠르고 정확하게 파악할 수 있게 됨으로써" 샘플 (Sample)' 의 적합성에 대한 정보를 잘 알 수 있게 됐다. 따라서 프로세스 최적화 (Process Optimization) 에 대해 적시에 결정을 내릴 수 있고, 모든 프로세스 문제의 위험을 줄여 비용이 많이 들고 시간이 많이 소요되는 재작업을 수행할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT Excite 는 고급 검사 자산으로, 사용자가 정보를 신속하고 효율적으로 결정할 수 있습니다. 즉, 복잡한 이미징/소프트웨어 기능을 통해 시간을 최대한 단축하여 가장 효율적인 방식으로 가장 정확한 결과를 얻을 수 있습니다 (영문).