판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Excite #9214619

ID: 9214619
빈티지: 2001
High speed particle detection system Bare wafer / Patterned wafer inspection 2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Excite는 고급 반도체 제조를 위한 비용 효율적인 고성능 리소그래피 솔루션을 제공하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 최첨단 마스크 검사 알고리즘을 갖추고 있으며, 강력한 하드웨어 및 소프트웨어와 결합하여 정확도를 향상시키고, 경고 (false-alarm) 를 줄였습니다. 이 장치의 하드웨어는 풀 필드 MEMS 기반 투사 돋보기 기, 레이저 간섭계 및 통신 센터 조명기가 장착 된 고해상도 광학 현미경으로 구성됩니다. 이 강력한 조합은 가장 복잡한 마스크 및 웨이퍼 설계를 빠르고 안정적으로 검사합니다. 또한, 시스템에 고유한 프레임 동기화 (frame synchronization) 프로세스가 포함되어 있는데, 이 프로세스는 각 웨이퍼 및 마스크의 가장 바깥쪽 프레임을 동기화하여 스캐닝 위치를 수동으로 조정할 필요가 없습니다. 이 툴의 소프트웨어는 하드웨어 기능을 활용하며, 고급 결함 감지 알고리즘 (advanced defect detection algorithms) 과 패턴화된 결함에 대한 통계 알고리즘 (statistical algorithms) 등 다양한 기능을 제공합니다. 에셋은 광 신호 처리 (light signal processing) 를 사용하여 패턴 검사 및 크기 50 나노미터 이하의 기능을 위해 이미지 데이터를 프로파일 및 신호 처리 알고리즘과 결합합니다. 이 모델은 또한 고급 데이터 관리 및 보고 (Reporting) 기능을 제공하여 결함 및 검사 결과를 완벽하게 추적할 수 있습니다. AMAT Excite (AMAT Excite) 의 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 검토 프로세스를 간소화하여 사용자가 결함을 빠르고 쉽게 파악하고 분석할 수 있습니다. 따라서 수작업으로 검토할 필요가 없어지는데, 이는 많은 시간이 소요되고 많은 비용이 소요될 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Excite 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 신뢰성, 정확성 및 성능으로 명성을 얻었으며, 반도체 제조업체들 사이에서 인기있는 선택이되었습니다. 이 시스템은 성공적인 리소그래피 프로세스 (lithography process) 를 위한 탁월한 기반을 제공하며, 고수율 반도체 생산을 보장하는 효과적인 솔루션입니다.
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