판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Complus 3 #9353217

AMAT/APPLIED MATERIALS Complus 3은 반도체 생산을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 칩을 제조하기 전에 IC 마스크 및 웨이퍼를 검사 및 측정하기위한 종합적인 시스템입니다. 이 장치는 웨이퍼 검사 스테이션, 정렬 시스템, 하위 시스템 및 데이터 처리, 분석, 보고서 생성을위한 호스트 컴퓨터로 구성됩니다. 이 도구에는 마스크 및 웨이퍼 표면의 고해상도 이미징을위한 고해상도 스캐닝 전자 현미경 (SEM) 이 있습니다. IC 마스크와 웨이퍼의 2D 및 3D 이미지를 만드는 데 사용됩니다. 에셋은 자동 (automatic) 도구와 수동 (manual) 도구를 조합하여 마스크 및 웨이퍼 서피스의 물리적 결함 및 비시각 특성을 검사합니다. 웨이퍼 검사 스테이션은 각 웨이퍼의 표면을 스캔하고 고해상도 3D 이미지를 캡처합니다. 이를 통해 마스크 결함, 오정 (misalignments), 기타 결함 등 모든 표면 결함에 대한 정확한 평가가 가능합니다. 정렬 모델에는 정확한 검사를 위해 웨이퍼를 샘플 뷰 포트 (sample view port) 에 정렬하는 자동 모터 제어 스테이지가 있습니다. 서브시스템에는 고해상도 이미지 비교, 고급 음영처리 수정, 비시각 결함 검사 알고리즘 등 다양한 기능이 있습니다. 이 장비는 고급 이미지 분석 알고리즘을 사용하여 표면 결함을 감지, 보고, 분류할 수 있습니다. 결함의 자동 분류 (automated classification) 및 심각도 등급 (severity rating), 결함 크기, 형태 및 특성에 대한 수동 평가에 사용될 수 있습니다. 또한 보안 데이터베이스 내에서 결과를 저장, 분석할 수 있는 고급 보고 (Advanced Reporting) 기능을 제공합니다. 이 장치에는 자동 단계 이동, 광도 제어, 자동 검색 모드, 이미지 내보내기, 외부 위치 테스트 결과 등 다양한 자동 (automated) 기능이 있습니다. 이를 통해 마스크 및 웨이퍼 기판을 검사할 때 처리량을 높이고 안정성을 향상시킬 수 있습니다. 전반적으로 AMAT Complus 3는 반도체 생산에 사용하기 위해 강력하고 포괄적 인 마스크 및 웨이퍼 검사기입니다. 고해상도 이미징 기능, 자동화된 도구, 고급 데이터 분석 (Advanced Data Analysis) 기능을 통해 칩으로 제조되기 전에 IC 마스크 및 웨이퍼의 품질을 모니터링하는 효과적인 툴입니다.