판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass #9378318

AMAT/APPLIED MATERIALS Compass는 반도체 및 태양 광 산업을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 전체 시야에 걸쳐 완벽한 다이-투-다이 (Die-to-Die) 검사를 통해 생산성 저하 없이 신속하고 정확하게 결함 데이터를 수집할 수 있습니다. 이 시스템은 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스와 QMA (Quick Mask Adaptation Wizard) 를 사용하여 다양한 웨이퍼 크기와 형식에 빠르게 적응할 수 있습니다. 통합 광학은 극도로 미세한 해상도에서 정확한 결함 감지를 제공하는 독특한 원격 중심 편광 장치를 갖춘 FOV (90도 light field-of-view) (FOV) 를 제공합니다. AMAT Compass 머신에는 고밀도 입자 감지, 패턴 검색, 오버레이, 패턴 확장 기능 등 고급 결함 감지 기능도 제공됩니다. 이 도구에는 독점 결함 분류 엔진이 포함되어 있습니다. 이 결함 분류 엔진 (Defect Classification Engine) 은 0.0005 인치까지 결함을 감지 및 분류하여 업계 표준을 쉽게 능가합니다. 이 자산은 또한 실시간 이벤트 모니터링 및 보고 기능을 제공하며, 기능을 분석 및 최적화합니다. 이 모델은 포괄적인 결함 맵과 보고서 요약 (Report Summary) 을 제공하며, 이를 통해 운영자는 신속하게 문제를 파악하고 수정할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Compass는 시간당 최대 10,000 개의 웨이퍼를 처리하며 해상도는 1.5 um, 전체 패턴 매핑은 0.1 um 정사각형 FOV입니다. 고급 패턴 인식 도구를 통해 고속 결함 특성화가 가능합니다. 내장 이미지 분석 도구를 사용하면 빠르고 정확한 패턴 인식 기능을 사용할 수 있습니다. 게다가, 초저소음 및 고급 대비 제어를 사용하면 [컴퍼스] 는 가장 작은 입자를 정확하게 감지 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Compass는 동적 초점과 고급 정렬 및 위치를 갖춘 정확하고 빠른 등록을 제공합니다. 자동화된 결함 매핑 및 할당을 통해, 장비는 낮은 수준의 결함을 파악하고, 결함 밀도, 결함 영역, 결함 위치에 대한 자세한 데이터를 제공합니다. 전반적으로 AMAT 컴퍼스 (AMAT Compass) 는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 뛰어난 처리량으로 미세한 정확도를 제공하며, 반도체 및 태양 광 발전소 제조업체가 생산량을 늘리고, 생산 비용을 줄이고, 수익률을 높일 수 있습니다.