판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass #9195370

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AMAT / APPLIED MATERIALS Compass
판매
ID: 9195370
빈티지: 2001
Wafer inspection systems 2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Compass는 반도체 장치 제작에 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 통합 광/전기 테스트 기능을 제공하는 고성능 검사 플랫폼입니다. 이 시스템은 대규모 반도체 제조에서 마스크, 웨이퍼 (wafer) 및 기타 부품의 품질을 검사할 수 있습니다. 이 장치는 다중 축 자동 현미경, CCD/CMOS 카메라, 고속 모션 컨트롤 머신, 이미지 프로세서, 기능 인식 장치 및 웨이퍼 기판 홀더로 구성됩니다. "마스크 '나" 웨이퍼' 의 구조 를 검사 하는 데 현미경 이 사용 되고 "카메라 '는 각 특징 의" 이미지' 를 캡처 한다. 그런 다음, 이미지 프로세서 (Image Processor) 는 카메라가 캡처한 각 이미지에 대해 단일 패스 피쳐 인식 (Single-pass Feature Recognition) 을 수행합니다. 모션 컨트롤 에셋을 사용하면 현미경이 표준 수동 검사 모드 (사용자 정의 영역으로 수행) 와 반복 모드 (자동 템플릿 사용) 모두에서 마스크와 웨이퍼를 정확하게 스캔할 수 있습니다. 따라서 최소 시간 내에 넓은 영역을 효율적으로 스캔할 수 있습니다. 또한, AMAT Compass는 모호하고, 탐지하기 어려운 결함을 감지하는 데 필요한 고급 기능과 경고 (alerting) 에 대한 사용자 정의 임계값을 제공합니다. 또한, 향상된 결함 로깅 및 보고 기능을 통해 데이터 마이닝을 통해 추가 분석을 수행할 수 있습니다. 이 모델은 또한 웨이퍼 기판 홀더 (wafer substrate holder) 를 통해 샘플 로딩 및 언로드가 쉽고, 무거운 샘플을 이동할 수있는 다중 레벨 샘플 홀더를 제공합니다. 장비는 또한 여러 결함, 패턴, 정렬을 검사하고 수정할 수 있습니다. 더욱이, 이 시스템은 수많은 테스트 표준을 통해 인증을 받았으며, 모든 애플리케이션의 정확한 테스트 요구를 충족하도록 구성할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Compass는 전체 검사 정확도와 공정 속도를 높이도록 설계된 일체형 (All-In-One) 고처리량 장치입니다. 이 플랫폼은 마스크 및 웨이퍼 검사, 기타 장치 제작 프로젝트에 이상적입니다. 고급 기능 (Advanced Features) 과 기능을 결합하여 제조업체는 프로세스 전반에 걸쳐 높은 수준의 품질을 유지할 수 있습니다.
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