판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass #9160731

AMAT / APPLIED MATERIALS Compass
ID: 9160731
Patterned wafer inspection system.
AMAT/APPLIED MATERIALS Compass는 제조 전 결함 및 기타 문제에 대한 집적 회로 마스크 및 웨이퍼 생산을 자동으로 검사하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 높은 처리량을 제공하는 균일한 자동 검사 (automated inspection) 프로세스를 제공하여 비용 크리티컬한 결함을 빠르고 정확하게 감지할 수 있습니다. 또한 보다 빠르고 경제적인 집적 회로 생산을 촉진합니다. AMAT 컴퍼스 (Compass) 장치는 매 초마다 최대 2 개의 이미지를 검사하여 빠르고 대규모 운영 환경에 적합합니다. 고해상도 카메라, 다양한 특수 렌즈 (lense), 특허 출원 중인 알고리즘 (algorithm) 을 활용하여 마스크 및 웨이퍼 생산에서 심각한 결함에서 결함을 신속하고 정확하게 감지합니다. 그런 다음 아르테미스 (Artemis) 기술은 결함이 실제인지 아닌지를 확인하는 데 사용됩니다. APPLIED MATERIALS Compass 머신은 또한 다양한 소프트웨어/하드웨어 알고리즘을 사용하여 웨이퍼와 마스크를 분석하고 잠재적 결함을 식별합니다. 소프트웨어 기능을 사용하면 잘못된 양의 (false positive) 를 줄이고 실제 결함만 감지할 수 있습니다. 또한 이미지 기반 마스크, 이진 마스크, 다중 패턴 마스크 등 다양한 마스크 디자인에서도 사용할 수 있습니다. 각 고객의 특정 요구 사항을 충족하도록 Tool을 구성할 수 있습니다. 고급 결함 감지 외에도, 컴퍼스 에셋 (Compass asset) 은 프로세스 모니터링을 위한 특수 알고리즘을 포함하여 프로세스 제어를 제공합니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '와" 마스크' 가 예상 대로 검사 되고 있을 가능성 있는 문제 들 이 신속 히 확인 되고 처리 되는 데 도움 이 된다. 이 모델은 프로덕션 이벤트 추적 (Production Event Tracking), 검사 장비의 성능을 모니터링하고 잠재적 문제를 식별하는 데 사용될 수도 있습니다. 마지막으로, 시스템은 정교한 보고 도구를 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 검사 결과에 대한 상세한 보고서를 생성할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Compass는 강력하고 효과적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장치로, 생산 프로세스를 간소화하고 낭비되는 시간, 비용, 자원을 줄입니다. 고급 알고리즘 (advanced algorithms), 빠른 이미지 검사 (fast image inspection) 및 프로세스 제어 (process control) 기능은 모두 마스크 및 웨이퍼가 예상대로 검사되고 결함 또는 기타 문제가 신속하게 파악되고 처리되도록 도와줍니다.
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