판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass Pro 300 #9235264
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ID: 9235264
Patterned wafer inspection system
Sun UltraSparc (10) Unix workstations (RAM: 1GB, 40 GB)
HD With spare SCSI card and 20/40 GB tape drive
1140-A0291W / J20-8S-12K-24
1140-A0291W / J20-8S-12K-23
Spectra-physics 0412-0515 US / 0135-0968 Rev B
ASYST C0094-0948-01
ASYST 6900-1551-01 FI computer SmartPlus 1.83
100395-0311/00 Rev C / Cable X-axis motor encoder hall
SKU-G7-K-2317-1 Master IP computer
1951608 / IP1 Genesis camera interface cable
1951363 / 740-26817-AD IP1/ADC1, 0090-A0780
ACS DR14 Rev B2 Compass 300 X-Axis driver PCB
370-1586-03 / NESUN1 Sun compact mouse
Cooling fan sparcstation: 12 V
ANORAD Commutation x,y sq box
Rocketport interface bd in FI computer
ASYST IsoPort, 300 mm (LP B)
ASYST 2200 LP with MOCA (200 mm)
Video card in Sun Sparcstation (2) computers
Aligner and stage to FA blade
Light from SP laser head: 532 nm
Light laser diode: 808 nm
LP Cassette ID (Port A and Port B) communications
Rocket port interface board
Back-up tapes and sun solaris Sparcstation (2) PC
OLYMPUS Microscope with white light lamp, 50 W
4610 HLX, 50 W, 12 V
SP Laser head: 532 nm (light)
Ultra-Sparc (10) unix workstation
RAM: 1 GB (HD: 40 GB)
Laser detectors: 1.1 W, 28.5 A / 16.5 Degree Cd
Laser output: 2.4 W, 31.92 A / 16.42°C
Laser diode (current very high)
Laser head and diode testing
Rocketport breakout box has been replaced
(4) FFU Fans
6900-1551-01 SmartPlus 1.54, Patch 1, OS NT4.0, SP 6
Compass 300 X-Axis motor hall encoder cable, 25"
Master IP computer
Compass 300 Dark field detector
With IP1 Computer cable and (2) detectors
EDR PMT Detector assy
X-Axis driver board
Sun compact mouse with live host tool
Does not include camera IP1 interface cable.
AMAT/APPLIED MATERIALS Compass Pro 300은 반도체 산업 내에서 작동하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 마스크 및 웨이퍼에 대한 깊은 도량형 검사 및 구조 이미지를 제공합니다. 이 장치의 제어 소프트웨어인 CWI (Comprehensive Wafer Inspection) 를 사용하면 패턴화 (patterned) 와 무단 (unpatterned) 웨이퍼를 모두 검사하고 종합적인 도량형 및 이미징 플랫폼을 통해 철저히 검사할 수 있습니다. 이 기계는 도구의 콘솔 (console) 과 이미징 스테이션 (imaging station) 인 두 개의 통합 컴포넌트로 구성됩니다. 콘솔에는 표본의 위치를 제어하고, 진공, 압축 공기 및 기타 필요한 가스를 제공하는 자산의 동력 단계 (Motorized Stage) 가 있습니다. 이 컴포넌트에는 정확한 측정 및 이미징을위한 모델의 프로브 (Probe) 및 이미징 요소도 포함됩니다. 이미징 스테이션에는 표본 표면의 구조나 기능을 캡처 및 검증하는 데 사용되는 고해상도 CCD (Charge-Coupled Device) 카메라가 포함되어 있습니다. 이 장비는 광학 (optical) 기술을 사용하여 측정 및 이미징 기능을 통해 반도체 모양과 패턴을 조사하도록 설계되었습니다. 전체 표본에 대한 임계 치수의 잘못된 정렬 및 변형, 결함 검출 (defect detection) 에 사용할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 이미지를 분석하기 위해 LSFA (Light Source Focusing Algorithms) 를 실행할 수 있습니다. 미세 구조를 보기 위해 표본의 3D 마이크로 그래프 (micrograph) 를 생성하는 광학 (optics) 과 레이저 간섭법 (laser interferometry) 의 조합을 사용하여 표본과 그 구조의 지형을 시스템에서 측정 할 수 있습니다. 이 장치의 센서 및 검출기는 표본에서 바람직하지 않은 결함의 식별, 확인 및 분석을 지원합니다. 이 기계에는 자동 장애 분석 및 수리 추적을위한 특수 도구가 장착되어 있습니다. AMAT 컴퍼스 프로 300 (AMAT Compass Pro 300) 은 반도체 업계의 마스크와 웨이퍼를 모두 검사하기 위해 안정적이고, 정확하며, 반복 가능한 결과를 제공하는 강력한 도구입니다. 고급 제어 소프트웨어 (Advanced Control Software) 와 종합적인 검사 기능을 통해 품질 보증 및 생산 제어를 위한 훌륭한 툴입니다. 소형 크기와 사용 편이성 때문에 대부분의 실험실, 생산 시설 등에 적합합니다.
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