판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass Pro 300 #293607489

AMAT/APPLIED MATERIALS Compass Pro 300은 고해상도 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 와퍼 (wafer) 샘플의 공중 및 초점 (in-focus) 이미징을 제공하며 정확하고 안정적인 방법론과 완벽한 검사를 위한 빠른 구입 시간을 제공합니다. 이 장치는 fab 매개 변수의 자동 검사 (automated inspection of fab parameters) 및 CRM 검사 (CRM inspection) 와 같은 다양한 검사 시나리오에 사용하기에 적합합니다. AMAT Compass Pro 300에는 컨트롤러, 스테퍼 모터 및 모션 컨트롤 스테이지와 손쉬운 작동을 위한 사용자 친화적 인 터치패넬 디스플레이가 포함되어 있습니다. 또한 370 ~ 1050 nm의 넓은 파장 범위와 10kHz의 높은 반복 속도를 가진 고출력 다이오드 펌핑 고체 (DPSS) 레이저를 제공합니다. 2 x 2 "또는 4 x 3" 시야는 PIN 다이오드 및 IRCCD 카메라 센서와 결합하여 초점 내 이미징 및 해상도를 1m까지 높입니다. 또한 CCD 카메라는 전체 필드에서 256 개의 회색 수준과 4ms 노출 시간을 제공합니다. 이 기계는 정확하고 반복 가능한 매개변수 스캔을 보장하기 위해 자동화된 다중 실행 (multiple run) 모드를 갖추고 있으며, 활성 조명 제어 도구 (Active Illumination Control Tool) 는 레이저 전원, 스캐닝 속도와 같은 조정 가능한 작동 매개변수를 허용합니다. 소프트웨어 옵션에는 수동 (manual) 및 자동 제어 모드 (automated control mode) 와 자동화된 결함 감지 및 분류 자산 (automated defect detection and classification asset) 이 포함되어 있어 빠르고 정확한 검사 결과를 얻을 수 있습니다. 이 모델에는 DLI (Die Level Inspection) 샘플 스테이지 (옵션) 가 장착되어 있어 다이 레벨 컴포넌트를 쉽게 검사할 수 있습니다. DLI 장비에는 샘플 처리 자동화, 자동 웨이퍼 스테이지 중심 및 표면 추적, 다이 레벨 자동 초점 및 결함 분석이 포함됩니다. 또한 APPLIED MATERIALS Compass Pro 300에는 고분극 대비 SV 이미지, 프런트 엔드 렌즈, 빔 샘플러, 감쇠 장치 및 선택적 열 플레이트를 생산하기위한 렌즈 및 필터 터렛을 포함한 다양한 액세서리가 제공됩니다. 이 시스템은 보호 (protective) 대기 버전으로 제공되며, 제어 (controlled) 대기 하에서 중요한 컴포넌트를 검사하는 데 적합합니다. 컴퍼스 프로 300 (Compass Pro 300) 은 사용자 친화적 인 유닛으로, 마스크와 웨이퍼를 빠르고 정확하게 검사할 수 있도록 정확하고 안정적인 결과를 제공합니다. 다이 레벨 검사 (die-level inspection) 와 다양한 액세서리 (accessory) 를 통해 다양한 검사 시나리오를 가능하게 하며, 기존의 FAB 환경에 적합한 소형 머신에서 사용할 수 있습니다. 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging), 빠른 구입 시간 (Fast Acquisition Time) 및 자동화된 프로세스 제어는 다양한 검사 요구 사항에 적합하며 중요한 구성 요소 검사의 혁신을 약속합니다.