판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass 200 #9280961

AMAT/APPLIED MATERIALS Compass 200은 종합적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 고급 구조의 특징을 0.25 äm 차원으로 제공합니다. 이 시스템은 고해상도 이미징 기능으로 고정밀 광학 검사 (optical inspection) 를 가능하게 하며, 뛰어난 초점과 에지 해상도를 제공합니다. 다양한 소프트웨어 툴 (Software Tools) 을 갖춘 통합 솔루션으로, 다양한 패턴 검사 작업에 대해 빠른 설치 및 최적화된 프로세스 제어를 지원합니다. 업계 표준 Allegro 마스크 검사 제품군과 통합되어 시간당 최대 200 개의 웨이퍼를 효율적으로 처리할 수 있습니다. 이 장치는 오버레이 정렬 (overlay alignment) 및 리소그래피 검증 (lithography validation) 과 같은 여러 가지 중요한 측정을 수행하도록 설계되었습니다. 이 제품은 웨이퍼 옵션에 고급 CCD 및 레이저 다이오드 (laser-diode) 기술을 사용하며 마스크 정렬을 위해 레이저를 비디오 정렬하여 부드럽고 안정적인 패턴 검사 결과를 제공합니다. 이 기계는 또한 고정밀 기계적 구성 요소와 반복 가능한 결과를 보장하는 완전한 자동화 (full automation) 의 이점을 제공합니다. 따라서 고객의 모든 요구 사항이 충족됩니다. 또한 AMAT Compass 200은 마스크 패턴 내의 접촉 구멍, 비아, 선과 같은 더 복잡한 구조에 대해 Paragon 패턴 인식을 제공합니다. 이 기능을 사용하면 각 피쳐의 개별 특성을 기본 (based-in) 규칙으로 인식하고 크기와 간격을 측정할 수 있습니다. 이는 검사 과정의 시간과 노력을 줄이고, 정확성을 높입니다. 이 도구는 또한 3D 이미징 모듈을 특징으로하며, 뛰어난 깊이 추출 정확도와 향상된 품질 제어 기능을 제공합니다. 이렇게 하면 결함 또는 재작업 횟수를 줄일 수 있습니다. 또한, 효율적인 마스크 검토를 위해 사전 정의된 CD 변형 및 프로세스 노드의 광범위한 라이브러리 (라이브러리) 를 통해 시간 절약, 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Compass 200 마스크 및 웨이퍼 검사 자산의 종합적인 소프트웨어 솔루션 및 하드웨어 기능을 통해 빠른 검사 속도로 고밀도 (high-precision) 결과를 얻을 수 있습니다. 이는 고객에게 유익한 기능으로서, 정확한 석판화 (lithography) 검증을 보장하고 프로세스 제어를 위해 향상된 워크플로를 제공합니다.