판매용 중고 AMAT AERA II #293621241

AMAT AERA II는 반도체 제조 작업에 사용되는 마스크, 웨이퍼 및 부품을 검사하도록 설계된 Mask & Wafer Inspection 장비입니다. 이 "시스템 '은 결함 을 탐지 하고 반도체" 웨이퍼' 에 인쇄 된 구조 와 관련 된 수율 손실 비용 을 줄이는 데 사용 될 수 있다. AERA II는 웨이퍼 수율 및 품질을 최적화하기 위해 마스크 및 웨이퍼 이미지 (wafer image) 를 수집하고 결함에 대해 분석할 수 있습니다. AMAT AERA II는 마스크와 웨이퍼의 수백 가지 변형을 샘플링하고 검사하는 높은 정확도 샘플링 도구입니다. 이 장치에는 디지털 카메라, stroboscopic 카메라, 분광 센서, 레이저 간섭계, 디지털 이미지 처리 시스템 등 다양한 센서와 광학이 포함됩니다. 또한 정교한 디스플레이 머신 (display machine) 을 갖추고 있으며 플랫 마스크 (flat mask) 와 각도 마스크 (angled mask) 를 동시에 볼 수 있으므로 마스크 패턴을 보다 빠르고 정확하게 검사 할 수 있습니다. AERA II는 1.8 미크론의 해상도와 0.2 미크론의 감도로 모든 유형의 수차를 검사 할 수 있습니다. 최대 85 도의 각도를 가진 하향식 검사 (top-down inspection) 기능이 있으며, 결함이 있을 가능성이 가장 높은 영역을 식별할 수있는 데이터를 제공 할 수 있습니다. 이 도구는 직경 5mm ~ 40mm 범위의 광학 (optics) 도 다양하며, 이는 사용자에게 다양한 시야와 확대 (magnization) 를 제공합니다. AMAT AERA II를 사용하면 마스크 검사 설정을 특정 응용 프로그램으로 사용자 정의할 수 있습니다. 여기에는 마스크 패턴 판단, 결함 분류, 이진 분석 및 패턴 일치와 같은 기능이 포함됩니다. 에셋에는 또한 노출 초과, 노출 부족, 어두운 지점, 줄무늬 및 분해와 같은 여러 유형의 결함을 감지 할 수있는 자동 결함 분석 모델이 있습니다. AERA II의 주요 기능 중 하나는 고속 성능입니다. 웨이퍼를 검사하고 분당 수백 웨이퍼 (wafer) 까지 마스크 할 수 있습니다. 이를 통해 검사 결과를 빠르고 정확하게 생성하여 반도체 제조업체의 높은 수익률과 비용 효율을 확보할 수 있습니다 (영문). AMAT AERA II는 반도체 산업에 귀중한 도구입니다. 정교한 센서와 옵틱을 통해 결함을 빠르고 정확하게 식별할 수 있으며, 사용자 정의 가능한 설정은 마스크 검사 프로세스 (mask inspection process) 를 특정 응용 프로그램에 맞게 조정할 수 있습니다. 즉, 고속 성능을 통해 운영 비용을 최소화할 수 있고 생산량을 높일 수 있습니다. 요컨대, AERA II는 모든 반도체 제조업체에 필수적인 도구입니다.