판매용 중고 ALLTEQ LFI 3010 #9299339
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ALLTEQ LFI 3010은 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 최첨단 시스템은 반도체 제조를 위한 마스크 (mask) 및 웨이퍼 (wafer) 제작에 대한 최고 품질 표준을 보장할 수 있습니다. LFI 3010은 평면 패널, 곡선 패널, 3D 지형을 포함한 다양한 마스크 및 웨이퍼 유형을 검사할 수 있습니다. 0.5äm 해상도와 1 초 반복 가능성으로 검사 할 수 있습니다. 시간 당 최대 600 개의 다이를 검사 할 수 있으며, 미크론 수준의 정밀도를 정확하게 읽을 수 있습니다. ALLTEQ LFI 3010에는 마스크 및 웨이퍼 표면에서 오염 물질 또는 외국 입자를 감지하고 제거 할 수있는 자동 비 접촉 시력 장치 (non-contact vision unit) 가 제공됩니다. 또한 0.75nm 이상의 라인 엣지 거칠기와 같은 결함을 검사 할 수 있습니다. 또한 트리밍, 결합 문제, 천공성 등과 관련된 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한, LFI 3010에는 고해상도 디지털 카메라가 장착되어 있어, 이미지를 캡처하고 분석하여 결함을 감지하고 정량화합니다. 향후 검토 및 분석을 위해 이미지와 제품 데이터를 저장할 수도 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (GUI) 를 통해 검사 프로세스를 구성할 수 있습니다. ALLTEQ LFI 3010은 또한 높은 수준의 정확성과 효율성을 보장하기 위해 여러 자동화 시스템을 갖추고 있습니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 를 검사 할 수 있고 수리 와 재작업 을 위한 부품 도 처리 할 수 있는 완전 한 "프로그램 '가능" 로봇' 이 있다. 전반적으로, LFI 3010은 마스크 및 웨이퍼 제작에서 최고 수준의 품질과 정확성을 보장 할 수있는 고도의 고급 머신입니다. 즉, 제조되는 각 제품은 모든 사양 및 원하는 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 자동화된 시스템은 프로세스의 일관성과 효율성을 보장하여 모든 웨이퍼 (wafer) 검사 도구에 가장 적합한 결과를 제공합니다.
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