판매용 중고 ALLTEQ LFI 3010 #9266249

ALLTEQ LFI 3010은 반도체 제조에 대한 품질 보증을 향상시키기 위해 설계된 다목적 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션입니다. 고급 광학 도량형 장비를 갖춘 LFI 3010 (LFI 3010) 은 다양한 기판에서 결함을 감지할 뿐만 아니라, 마스크 자체의 중요한 구조를 측정합니다. 이 시스템은 고급 이미지 프로세싱 (advanced image processing) 과 모자이크 (mosaic) 기술을 사용하여 스티칭이나 반복없이 연속적인 전체 시야를 생성합니다. 이렇게 하면 전체 레이어 또는 필드를 단일 스캔하여 빠르고 정확한 결함 감지, 측정, 특성화가 가능합니다. ALLTEQ LFI 3010에는 microresolution 및 macroresolution 이미징 기능의 독특한 조합이 있습니다. 마이크로 레벨 (microlevel) 에서이 장치는 고급 백-스캐터링 이미지를 사용하여 세밀한 구조에서 레이어 아래 결함 및 임계 구조를 식별하고 측정합니다. 매크로 레벨 (Macrolevel) 에서, 명암과 백스캐터링 이미지의 조합은 다양한 기판에서 표면 결함 (예: 핀홀) 을 식별하고 측정하는 데 사용됩니다. 또한, 이 기계는 결함 유형, 크기, 형태 및 기타 특성을 빠르고 정확하게 식별하기 위해 완전 자동 결함 분류 (fully automated defect classification) 프로세스를 갖추고 있습니다. 이는 프로덕션 라인의 문제를 파악하고 해결하기 위해 적절한 장애 분석 (Failure Analysis) 방법을 트리거하는 데 사용될 수 있습니다. 전반적으로, LFI 3010은 효율적이고 안정적인 마스크, 웨이퍼 검사 도구이며, 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 자산은 고급 이미징 (Imaging) 및 결함 분류 (Defect Classification) 알고리즘을 통해 다양한 결함 및 결함을 쉽게 감지하고 측정 할 수 있습니다. 또한, 자동화된 결함 분류 프로세스 (automated defect classification process) 를 통해 결함 분석 프로세스를 간소화하고 간소화하여 운영 라인의 효율성을 높일 수 있습니다.