판매용 중고 AERONCA WIS 150 #293818017

ID: 293818017
Wafer inspection tool Laser, belts, and consumable parts replaced.
AERONCA WIS 150은 최첨단 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 장비로, 고정밀 결함 감지 및 특성화에 대한 반도체 산업의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 고급 시스템은 다양한 혁신적인 기술을 결합하여 정확성, 신뢰성, 생산성 면에서 탁월한 성능을 제공합니다. WIS 150에는 다양한 생산 단계에서 고급 이미징 (Advanced Imaging) 기술을 사용하여 마스크와 웨이퍼의 고해상도 이미지를 캡처하는 정교한 광학 검사 모듈이 장착되어 있습니다. 이 모듈은 UV (UV) 및 가시 광원 (Visible Light) 과 같은 최첨단 조명 소스를 통합하여 샘플의 표면에서 미묘한 결함을 감지하기위한 명암과 민감도를 향상시킵니다. 이 장치는 또한 넓은 시야를 가진 고속 카메라 (High-Speed Camera) 를 갖추고 있어 공간 해상도를 손상시키지 않고 넓은 지역을 신속하게 검사할 수 있습니다. AERONCA WIS 150의 주요 기능 중 하나는 딥 러닝 (Deep Learning) 및 머신 비전 (Machine Vision) 기술을 기반으로하는 고급 결함 인식 및 분류 알고리즘입니다. 이 알고리즘을 사용하면 기계에서 높은 정확도와 속도로 마스크, 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 자동으로 식별하고 분류할 수 있으며, 수작업 (manual intervention) 의 필요성을 줄이고 전반적인 처리량을 증가시킬 수 있습니다. 이 도구는 입자, 스크래치, 패턴 편차 (pattern deviations) 등 다양한 결함 유형을 감지할 수 있으며, 자세한 분석 및 문제 해결을 위해 상세한 결함 맵을 생성할 수 있습니다. 결함 감지 외에도 WIS 150은 피쳐 치수, 오버레이 정확도, 패턴 충실도 (pattern fidelity) 와 같은 중요한 매개변수를 평가하는 고급 도량형 기능을 제공합니다. 에셋은 나노 미터 이하의 해상도로 마스크 및 웨이퍼에 대한 정확한 측정을 수행할 수 있으며, 프로세스 변형 및 공구 성능에 대한 중요한 피드백을 제공합니다. 이 도량형 기능은 반도체 장치의 품질 (Quality) 과 일관성 (Consistency) 을 보장하고 높은 경쟁력을 갖춘 시장에서 생산량을 최적화하는 데 필수적입니다. AERONCA WIS 150은 반도체 제작 시설에 일반적으로 사용되는 다른 장비 및 소프트웨어 도구와 원활하게 통합하여 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 프로세스를 간소화하도록 설계되었습니다. 이 모델에는 사용자 친화적 인 인터페이스가 장착되어 있어 운영자가 검사 레시피를 구성하고, 실시간으로 검사 진행 상황을 모니터링하며, 프로세스 제어 (process control) 및 문서 (documentation) 용도로 종합적인 검사 보고서를 생성할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 MES (Manufacturing Execution System) 및 Fab 자동화 플랫폼과의 데이터 교환 및 연결을위한 업계 표준 통신 프로토콜을 지원합니다. 결론적으로, WIS 150은 반도체 업계의 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 최첨단 솔루션으로, 반도체 장치의 품질과 신뢰성을 보장하는 데 탁월한 성능, 다용도, 효율성을 제공합니다. 첨단 이미징, 결함 인식 (Defect Recognition), 도량형 (Metrology) 기능을 갖춘 이 시스템은 고급 반도체 제조 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하고 차세대 전자 기기 개발에 지속적인 혁신을 가능하게 하는 데 적합합니다.
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