판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR CR-81 #9102576

ADE/KLA/TENCOR CR-81은 반도체 및 집적 회로 제작 산업을 위해 설계된 고급 이벤트 중심 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 파퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 에 위치한 임계 필름 (critical film) 레이어의 결함을 측정하고 분석할 수 있으며, 속도와 정확도는 비교할 수 없습니다. 이 시스템에는 ADE (Advanced Defect Evaluation), KLA (TENCOR) 및 ADE/KLA/TENCOR (TEM Imaging) 의 세 가지 주요 이름이 포함되어 있습니다. 이 조합은 마스크 (Mask) 및 웨이퍼 (Wafer) 검사를 위한 고급 기능으로 이미징을 넘어서 원시 이미지 데이터를 기반으로 미세한 결함, 외래 입자, 심지어 숨겨진 결함을 감지합니다. ADE CR-81은 전문 주사 전자 현미경 (SEM) 카메라를 사용하여 웨이퍼 또는 마스크 표면의 아슬아슬하게 상세한 3D 이미지를 생성합니다. 이를 통해 대부분의 다른 검사 시스템의 해상도보다 낮은 서피스 (surface) 및 서브어페이스 (subsurface) 결함을 감지할 수 있습니다. 이 장치는 고급 알고리즘을 사용하여 결함 분석을 수행합니다. 이 알고리즘은 3D 이미지 데이터의 의심스러운 모양과 패턴을 자동으로 식별하고 이를 플래그 (flag) 하여 추가 검사를 수행할 수 있습니다. 프로세스의 어느 시점에서, 연산자는 수동 제어 (manual control) 를 취하고 플래그가 지정된 결함을 추가로 분석 할 수 있습니다. 클라 CR-81 (KLA CR-81) 은 대형 웨이퍼 또는 마스크를 자동으로 검사할 수 있는 검사 로봇과 통합되어 있습니다. 이는 수동 시스템에 비해 운영자의 효율성을 높입니다. 이 기계는 위의 기능 외에도 장애 격리 (fault isolation) 및 분석 (analysis) 을 위한 소프트웨어 툴을 내장하고 있습니다. 이를 통해 엔지니어는 결함의 근원을 이해하고 향후 이를 제거하기위한 시정 방안 (corrective measure) 을 신속하게 구현할 수 있습니다. 결론적으로, TENCOR CR-81은 엄청나게 강력하고 유능한 마스크 및 웨이퍼 검사 도구입니다. 첨단 탐지 (advanced detection) 기술과 통합 로봇 (integrated robot) 의 조합으로 소규모의 결함까지 빠르고 정확하게 탐지할 수 있다. CR-81 은 이러한 결함의 출처를 신속하게 격리, 분석하는 기능을 통해, 광범위한 집적 회로 제작 (integrated circuit fabrication) 프로세스에서 귀중한 도구입니다.