판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR AWIS 3100 #9148343

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ADE / KLA / TENCOR AWIS 3100
판매
ID: 9148343
웨이퍼 크기: 6"-12"
X-ray spectrometer, 6"-12".
ADE/KLA/TENCOR AWIS 3100은 집적 회로, 포장 및 기타 제품의 개발 및 생산에 사용되는 반도체 장치에 대한 고해상도 검사를 제공하기 위해 설계된 최고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. ADE AWIS 3100은 다양한 고급 이미징, 도량형 및 패턴 인식 기술을 하나의 통합 플랫폼으로 결합합니다. 이 시스템은 고해상도 이미징 스테이션 (Imaging Station) 을 갖추고 있으며, 탁월한 정확도로 매우 작은 장치의 이미지를 캡처할 수 있습니다. 또한 온칩 SRAM 셀의 결함을 감지하기위한 고급 SRAM 메모리 칩 분석기가 있습니다. SRAM 메모리 테스트 (SRAM memory test) 기능은 타이밍, 논리, 기능적 결함 문제로 인해 발생할 수 있는 컴포넌트의 분석에 유용한 툴입니다. 또한 KLA AWIS 3100 은 고급 결함 매핑 및 보고 기술을 통해 엔지니어가 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 의 잠재적 결함을 신속하게 찾아내고 파악할 수 있습니다. 이 장치는 결함 위치를 표시하고 가능한 문제에 대한 자세한 보고서를 제공 할 수 있습니다. 이러한 보고서는 결함 유형 (defect type), 위치 (location) 및 기타 관련 세부 정보와 같은 추가 정보를 포함하도록 사용자 정의할 수 있습니다. 이를 통해 엔지니어는 긴 실험적 (laborious) 테스트가 필요 없이 다양한 결함을 신속하게 평가할 수 있습니다. 이 기계는 고급 광학 결함 매핑 (optical defect mapping) 기능을 갖추고 있으며, 불균일 한 조명이 있는 경우에도 마스크의 결함을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있습니다. 이 기능을 통해 제조 전 제품의 결함을 감지하고 완성된 제품의 전체 수율 (Yield) 과 품질 (Quality) 을 향상시킬 수 있습니다. 마지막으로, TENCOR AWIS 3100 은 사용자 친화적인 그래픽 인터페이스를 통해 설계되었으며, 기술 환경에 관계없이 다양한 엔지니어와 엔지니어를 손쉽게 사용할 수 있습니다. 따라서, 이는 고해상도 및 정확도 검사가 필요한 반도체 제조 공정에 이상적인 선택입니다.
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