판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 351 #9390213

ADE/KLA/TENCOR 351은 고속 및 높은 정확성을 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 최소 기능 너비 1.5m로 최대 3nm 해상도의 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 시스템은 이중 고해상도 광학 센서 (optical sensor) 와 레이저 초점 현미경을 사용하여 높은 처리량을 제공하며 시간당 최대 100 개의 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. 이 장치에는 2 개의 고속, 고해상도 레이저 현미경이 있으며, 반도체 웨이퍼의 지형 및 토폴로지 기능을 동시에 측정합니다. 이 시스템은 고해상도 (high resolution) 및 속도 (speed) 로 데이터를 수집하여 각 웨이퍼를 실시간으로 완벽하게 볼 수 있습니다. 수작업으로 검사하는 동안 누락되는 결함을 감지하고 수정하는 데 도움이 됩니다 (영문). 게다가, 이 도구는 자동 감지, 분류, 측정 및 분석 기능으로 완전히 자동화됩니다. 이 자산에는 ADE ASPECT ™ 플랫폼을 기반으로 한 On-Wafer-Focus ™ (와퍼 표면을 따라 균일 한 신호 획득) 기술이 장착되어 있습니다. 이 모델은 또한 넓은 스펙트럼 밴드를 제공하여 다른 광학 주파수에서 IC (Integrated Circuit) 검사에 적합합니다. ADE 351 의 대화형 사용자 인터페이스 (Interactive User Interface) 를 사용하면 사용자 친화적이며 수동/자동 결함 검토 프로세스와 손쉽게 통합할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 실시간 이미지 캡처 및 데이터 분석을 지원합니다. 또한 [대비 감도], [이미지 해상도] 또는 [색상 공간] 을 조정하는 다양한 설정이 적용됩니다. 이 시스템은 비용 효율적이며 결함을 감지하고 찾는 데 안정적이며 반도체 제조 (semiconductor fabrication) 업계의 귀중한 자산입니다. 클라 351 (KLA 351) 은 웨이퍼 (wafer) 나 고급 IC (advanced IC) 중 어느 쪽이든, 다양한 애플리케이션에 완벽한 구성 요소를 생산할 수 있습니다.