판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 351 #9008897

ADE/KLA/TENCOR 351은 생산 모니터링을 위해 효율적이고 다양한 플랫폼을 제공하도록 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 하드웨어, 소프트웨어, 데이터 평가 기법의 혁신적인 조합으로 다양한 유형의 마스크 (mask), 웨이퍼 (wafer) 에 걸쳐 빠르고 정확한 결함 감지 기능을 제공합니다. ADE 351 의 첫 번째 주요 구성 요소는 고해상도 (high-resolution) 카메라로, 스캔한 웨이퍼 및 기타 개체의 고해상도 이미지를 캡처할 수 있습니다. 그런 다음 이러한 이미지는 고급 알고리즘 (advanced algorithm) 을 사용하여 처리되며, 이를 통해 장치가 마스크 및 웨이퍼의 미묘한 특성 및 결함을 분석 및 감지 할 수 있습니다. 이것은 시각적 식별과 자동 패턴 인식 기술을 사용하여 수행됩니다. 기계 의 두 번째 구성 요소 는 조명 도구 (lumination tool) 인데, 이것 은 인간 의 눈 에 보이지 않는 교묘 한 특징 들 을 탐지 할 수 있게 해 준다. 여기에는 하위 픽셀 테두리 모서리, 저항성, 이방성 및 기타 패턴과 같은 기능이 포함됩니다. 조명에셋 (Lumination Asset) 을 통해 모델은 기존 검사 시스템보다 작은 마스크와 웨이퍼를 스캔 할 수 있습니다. 장비의 하드웨어 및 이미지 처리 구성 요소와 함께, KLA 351은 또한 특수 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 여기에는 스캐닝할 마스크나 웨이퍼의 원하는 영역을 쉽게 선택할 수 있는 포인트 앤 클릭 방식의 GUI (Graphical User Interface) 가 포함됩니다. 또한 여러 가지 매개 변수 (예: 결함 크기, 모양, 방향, 저항성) 를 빠르고 직관적으로 측정할 수 있는, 다양한 자동 데이터 분석 툴을 제공합니다. 또한, 소프트웨어에는 다양한 유형의 결함을 감지하는 다양한 정교한 탐지기 (detector) 가 포함되어 있습니다. 마지막으로 TENCOR 351은 고급 사후 처리 및 검토 기능도 제공합니다. 여기에는 자동 결함 요약 보고서, 세부 결함 분석, 결함 맵 등이 포함됩니다. 이를 통해 사용자는 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템 (Mask and Wafer Inspection System) 의 성능을 신속하게 평가하고 필요한 경우 조정할 수 있습니다. 전체적으로 351은 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 고급적이고 효율적인 장치입니다. 고해상도 카메라, 고급 조명 (Advanced Illumination), 특수 소프트웨어 (Specialized Software), 강력한 후처리 도구의 조합으로 마스크 및 기타 물체에 대한 빠르고 정확하며 신뢰할 수 있습니다. 자동화된 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 검사 시스템을 원하는 모든 고객에게 최적의 솔루션으로, 안정적이고 사용하기 쉽습니다.