판매용 중고 ACCRETECH / TSK Win-Win 50-1600 #9353791

ACCRETECH / TSK Win-Win 50-1600
ID: 9353791
웨이퍼 크기: 12"
Bright field inspection system, 12".
ACCRETECH/TSK Win-Win 50-1600은 오늘날의 최신 반도체 제조의 요구를 충족하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 마스크 검사, 웨이퍼 검사, 도량형, 결함 검사 등의 작업을 동시에 수행할 수 있습니다. TSK Win-Win 50-1600은 최대 10 x 10nm3 해상도 기능을 제공하는 광학 마스크 검사를 위해 Modulated Bright Field Inspector (MBI) 기술을 사용합니다. MBI 시스템은 기존의 마스크 검사 플랫폼보다 최대 4 배 빠른 더 작은 고급형 반도체 구성 요소를 검사하는 한편, 가장 작은 결함까지 더 잘 감지 할 수있는 초저소음 이미징 (ultra-low-noise imaging) 을 제공합니다. 이 장치의 웨이퍼 검사 기능에는 오버레이 측정, 패턴 배치, 결함 검사, 오버레이 비교 및 자동 뷰 필드 측정이 포함됩니다. 웨이퍼 검사는 ULK 표준 규칙에 따라 Level1, Level2, Level3 등 다양한 검사 기준을 사용하여 정확하고 빠르게 수행 할 수 있습니다. ACCRETECH Win-Win 50-1600은 또한 IMEC, Black-background, Dark-Background, HP-RGB, HP-RGBZ, LEFT 및 RIGHT Gate와 같은 표준 프로세스와 기술을 지원합니다. Win-Win 50-1600은 또한 프로파일 측정, 배율 조정, 기울기 측정, 필름 두께 측정, 마이크로 도트/구멍 측정, 패턴 기울기 (pattern skew) 와 같은 도량형 기능을 제공하여 마스크 기능을 평가하여 산업 표준을 충족시킵니다. 이 기계는 또한 결함 검사를 특징으로하며, 피치, 브리징, 오픈/쇼트, 분할, 접촉 구멍, 핀홀 및 거부를 포함하여 광범위한 전기, 광학 및 기계적 결함을 감지 할 수 있습니다. ACCRETECH/TSK Win-Win 50-1600 은 운영 라인에 쉽게 통합되어 처리량과 품질이 향상됩니다. 향상된 구성 요소 아키텍처, 유연한 네트워킹, 고급 절전 기능 덕분에 탁월한 성능과 안정성을 제공합니다 (영문). 또한 다양한 반도체 제품의 요구 사항을 충족하는 다양한 렌즈 (lenses) 및 스테이지 (stage) 구성을 지원합니다. 전체적으로 TSK Win-Win 50-1600은 향상된 수확량과 결함 감소를 찾는 현대 반도체 공장을위한 이상적인 마스크 및 웨이퍼 검사 도구입니다.
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