판매용 중고 TAMARACK PRX 5000/1000 #9268761

TAMARACK PRX 5000/1000 은 고급 마스크 생성/생산 장비로, 업계에서 가장 높은 생산성과 높은 생산성을 사용자에게 제공하도록 설계되었습니다. 이 제품은 웨이퍼 패턴화, 대용량 제조, 고급 마스크 검사 (Advanced Mask Inspection) 등 전체 서비스 마스크 생성 및 생산 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 QuadTech Oculon9 및 Ricoh R-Laser 2000과 같은 고급 석판 시스템을 기반으로합니다. 고해상도 (High Image Resolution), 다중 노출 헤드 (Multiple Exposure Head) 및 최고 품질의 마스크를 보장하는 내장 검사 장치가 특징입니다. TAMARACK PRX 5000/1000의 리소그래피 정확도는 X 및 Y 축 모두에서 최대 0.15 미크론이며 최대 칩 크기는 10 x 10 mm입니다. 이 기계는 설계 규칙 라인, 트렌치, 구덩이 및 기타 마이크로 피처 (microfeature) 를 포함하여 다양한 유형의 피쳐 크기를 처리 할 수 있습니다. 복잡한 다중 레벨 구조를 수용 할 수도 있습니다. 이 도구에는 레이저 다이렉트 라이터 (Laser Direct Writer), 듀얼 레이저 스캐너 (Dual Laser Scanner) 및 광학 검사 자산 (Optical Inspection Asset) 이 장착되어 있어 전체 서비스 마스크 생성 및 생산의 요구를 충족시키면서도 최고 수준의 정확성과 정확성을 제공합니다. 이 모델은 생산 (production) 및 검사 (inspection) 주기 모두에서 최고의 반복성을 제공하여 높은 수준의 제품 품질과 신뢰성을 제공합니다. 이 장비는 또한 고도로 자동화되어 있으며, 리소그래피 실행을 모니터링하고, 데이터 무결성을 모니터링하고, 마이크로 칩 생산에서 가능한 오작동을 감지하는 통합 진단 도구를 갖추고 있습니다. 또한 내장 패턴 인식 (pattern recognition) 및 검사 도구 (inspection tool) 를 사용하여 마스크의 결함을 감지할 수 있습니다. TAMARACK PRX 5000/1000은 마스크 생성 및 생산을 위해 설계된 고급 하드웨어 및 소프트웨어를 최대한 활용합니다. 이 장치는 빠른 속도와 정확성 외에도, 리소그래피 런을 확장하고, 마스크 수를 확장하고, 리드 타임 (lead time) 과 생산 비용을 절감할 수 있는 유연성을 제공합니다. 또한 툴의 설치, 설치, 운영, 유지 관리를 지원하는 설명서 및 자습서가 들어 있습니다. 이 모든 기능을 통해 TAMARACK PRX 5000/1000은 전체 서비스 마스크 생성 및 프로덕션 어플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다.