판매용 중고 TAMARACK 142 #9214869

TAMARACK 142는 고성능 웨이퍼 스케일 리소그래피를 위해 설계된 모듈 식 마스크 생성 및 생산 장비입니다. 이 시스템은 자동 노출 장치, 자동 리소그래피 최적화 기계, 자동 웨이퍼 정렬 도구, 자동 마스크 검사 자산 등 여러 모듈로 구성되어 있습니다. 자동 노출 모델에는 여러 개의 고출력 레이저 다이오드 세트와 레이저 초점 길이 제어 장비 (laser focal length control) 가 포함되어 있습니다. 이를 통해 시스템은 다양한 노출 매개변수 (imposure parameter) 와 높은 수율로 반복 가능한 노출 (imposure) 을 제공 할 수 있습니다. 자동 리소그래피 최적화 장치 (Automated lithography optimization unit) 는 사전 결정된 측정 프로세스 세트를 수행하여 원하는 기능을 달성하는 데 필요한 리소그래피 프로파일을 최적화할 수 있습니다. 자동 웨이퍼 정렬 기계는 오프 더 셸프 (off-the-shelf), 비 접촉 (non-contact) 및 진공 정렬 시스템과 통합되어 반복 가능하고 정확한 웨이퍼 정렬을 제공합니다. 자동 마스크 검사 도구는 SEM 및 X-ray 이미징을 포함한 이미징 기술의 조합을 사용하여 마스크의 결함 및 변형을 정확하게 검사합니다. 이 에셋은 또한 고급 자동화 및 제어 모델 (Control Model) 로 설계되어 마스크 설계를 업로드하고, 노출 매개변수를 제어하며, 리소그래피 및 웨이퍼 정렬 프로세스를 최적화 할 수 있습니다. 이 장비는 또한 모든 프로세스 단계를 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 추가 분석을 위한 상세한 보고 기능을 제공합니다. 전반적으로, 이 시스템은 고화질 리소그래피 및 정렬로 마스크를 생성하기 위해 사용하기 쉽고, 안정적이며, 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 이 장치는 세분화 (Generation) 및 생산 (Production) 을 위해 세밀하게 정의된 고품질 마스크를 생산할 수 있는 효율적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.