판매용 중고 USI PV480 #9183256

USI PV480은 반도체 장치 제작과 같은 사진 리토 그래피 응용 프로그램에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 첨단 에지 인식 (Edge Recognition) 과 정확도 제어 기술을 갖춘 레이저 간섭계를 사용하는 고 처리량입니다. PV480 마스크 정렬 (PV480 Mask Aligner) 은 선형 모터를 기본 디자인으로 사용하며, 더 긴 노출 시간 동안 큰 패널 기판을 더 잘 정렬하도록 설계되었습니다. 마스크 정렬기에는 6 인치 및 8 인치 웨이퍼를 모두 수용 할 수있는 충분한 규모의 통합 척 (chuck) 테이블이 장착되어 있습니다. 이 크기를 통해 USI PV480은 평면 패널 디스플레이와 같은 대형 기판을 처리 할 수 있습니다. PV480은 기판의 가장자리를 인식한 다음 레이저의 x, y, y축을 동기화하여 평탄도 변화를 계산적으로 보상합니다. 이렇게 하면 처리 시간 내내 기판이 완벽하게 정렬됩니다. 그것의 가장자리 인식 기능은 또한 입자, 먼지와 같은 오염을 감지하고, 균일 한 노출을 위해 기질을 자동으로 수정합니다. USI PV480은 지속적으로 스캔하고 각 노출의 위치와 각도를 정확하게 매핑하는 고급 Point to Point Algorithm을 제공합니다. 전체 필드 복잡도 600 x 600mm에 걸쳐 +/-3m의 노출 정확도를 제공 할 수 있습니다. PV480은 광석판 촬영에 최적화된 출력 스펙트럼을 갖춘 내구성 크세논 램프를 갖추고 있습니다. 저전력 소비량, 낮은 유지 관리 및 고급 열 관리 기술은 대용량 운영 시 안정적인 운영을 보장합니다. USI PV480 마스크 정렬기에는 레시피 개발을 위한 직관적인 소프트웨어 패키지가 제공됩니다. 여기에는 사용자 인터페이스에서 정렬자를 빠르게 프로그램, 조정, 모니터링, 제어, 문제 해결하는 도구가 포함됩니다. 마스크 패턴을 쉽게 설계하고 확인할 수 있는 맞춤형 마스크 편집기가 있습니다. 결론적으로, PV480 마스크 정렬기는 평면 패널 디스플레이 (Flat Panel Display) 제작과 같은 대규모 사진 다이어그래피 애플리케이션에 이상적인, 고도의 고급 처리량입니다. 에지 인식 (edge recognition) 기능, 균일 한 노출 수정 및 정확한 스캔 기능으로, 최소한의 변동성으로 고해상도, 정확한 결과를 얻을 수 있습니다.