판매용 중고 USHIO UX-4440 #9364543

USHIO UX-4440은 nanofabrication 응용 프로그램에 매우 다양하고 빠르도록 설계된 마스크 정렬 자입니다. 4 "x4" 정렬 필드가 있으며, 이는 0.5 "m (미크론) 까지 정확하여 많은 유형의 기판을 처리 할 수 있습니다. 정밀도, 긴 수명 단계, 공기 베어링 정밀도 (Air Bearing Precision Stage) 가 장착되어 있어 해상도가 높고 처리량이 높습니다. 고급 자동 초점 알고리즘은 최상의 정렬 정확도, 반복성, 빠른 분석 시간을 제공합니다. 이 기계는 또한 정밀도와 안정성을 높이기 위해 저진동 플랫폼을 갖추고 있습니다. 10W 병렬 UV 제논 램프는 노출을 위해 통합되었으며, 온도가 완전히 제어되는 플랫폼은 쿼츠 마스크의 안정적이고 반복 가능한 노출을 보장합니다. 디지털 모션 컨트롤러는 반복 가능한 정확도로 고속 작동을 제공합니다. 이 시스템은 또한 효율적이고 정확한 마스크를 만들 수있는 다중 노출 기능 (Multiple Exposure Capability), 기판의 높은 정확도 정렬, 자동 스테이지 교정, 초고속 진공 척 (Vacuum Chuck) 등의 다양한 옵션을 갖추고 있습니다. 온보드 PC에는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 있어 모든 시스템의 설정과 기능에 액세스할 수 있습니다. 이 기계는 또한 유연한 패턴 전송 유틸리티 (pattern transfer utility) 를 제공하여 더 복잡한 패턴 및 검사 프로세스에 적합합니다. 이 시스템은 미리 정의된 사용자 프로세스 매개변수 (user process parameters) 라이브러리와 함께 제공되며, 이를 통해 시스템을 쉽게 로드하고 실행할 수 있습니다. USHIO UX 4440은 nanofabrication 프로세스에서 정확성, 반복성 및 처리량을 높일 수있는 고급적이고 매우 정확한 마스크 정렬자입니다. 이미징 (imaging) 및 정렬 (alignment) 기능과 결합된 유연성과 사용 편의성은 높은 정확성과 안정적인 결과를 요구하는 어플리케이션에 적합합니다.