판매용 중고 USHIO UX-4440 #293636267

USHIO UX-4440은 업계 최고의 고속 웨이퍼 정렬을 제공하는 아트 마스크 정렬기 (Art Mask Aligner) 의 상태입니다. 높은 정렬 정확도, 높은 처리량 (throughput rate) 을 처리하는 한편, 최소화된 회선과 마크 정렬 왜곡 (mark alignment distortion) 을 제공합니다. 이것은 반도체 제품의 대량 생산에 이상적입니다. USHIO UX 4440 마스크 정렬기의 핵심은 3 축 광학 장비입니다. 2 개의 레이저 스캐너 (laser scanner) 와 2 개의 레이저 다이오드 (laser diode) 를 사용하여 단일 스캔으로 에칭 패턴의 두께와 높이를 모두 측정 할 수 있습니다. 이를 통해 웨이퍼에서 에칭 된 마스크 패턴을 정확하게 정렬하여 반복 가능한 대용량 (high-volume) 생산이 가능합니다. UX-4440은 또한 가시 광선 디지털 현미경을 통해 최대 0.2 m 정확도의 고해상도 이미지를 제공합니다. 또한 자체 교정 기능이 내장되어 있으므로 Wafer 상의 Mark 패턴과 선을 식별, 측정, 정렬할 수 있습니다. 이를 통해 정렬 오류를 조정하고 수정하는 것이 바람입니다. 이 장치에는 스캐닝 스테이지가 장착되어 최대 속도 200mm/sec의 광시야각 필드 (1mm 사각형) 를 제공합니다. 또한 3 ~ 8 인치 범위의 웨이퍼 직경을 지원하는 웨이퍼 홀딩 스테이지가 있습니다. 웨이퍼 로딩, 정렬, 마킹의 자동화를 통해 복잡한 패턴을 정확하게 재현할 수 있습니다. UX 4440에는 인터페이스 보드 (옵션) 가 장착되어 있어 품질 검사, 통계 등 다양한 소프트웨어 프로그램과의 직접 통신이 가능합니다. 이를 통해 작업을 자동으로 수행하고, 따라서 인적 오류에 대한 가능성을 줄일 수 있습니다. 또한 USHIO UX-4440에는 긴급 상황의 경우 웨이퍼 프로텍터 (wafer protector), 경보 기능 (alarm function) 및 대기 모드 (standby mode) 와 같은 모든 안전 기능이 제공됩니다. 이는 사고의 위험을 최소화하면서 최대 안전 및 운영자의 편안함을 보장합니다. 결국, USHIO UX 4440 (USHIO UX 4440) 은 업계의 요구를 충족시킬 수있는 대용량 생산을위한 고급 기능을 갖춘 매우 정교한 마스크 정렬 기입니다. 견고한 설계, 자동화 옵션, 안전 기능을 통해 복잡한 고정밀 (high-precision) 정렬 작업을 선택할 수 있습니다.