판매용 중고 USHIO UX-4440 #293587280

USHIO UX-4440 마스크 정렬기는 나노미터 스케일 회로 및 장치를 만들도록 특별히 설계된 정교하고 신뢰할 수있는 리소그래피 머신입니다. 연구자와 엔지니어가 집적 회로 (integrated circuit), 막 (membrane), 광전자 재료 및 장치를 만드는 데 사용하는 도구입니다. 코어에서 USHIO UX 4440에는 4 단계 스테퍼 모터와 256 x 256 픽셀 패턴 정렬 장비가 포함되어 있습니다. 이 시스템은 평균 속도 20-30mm/s의 3 차원 공간에서 웨이퍼 단계를 빠르게 이동합니다. 스테퍼 모터는 다양한 조건과 기판에 최적화하기 위해 미세 조정 프로세스 매개변수 (fine-tuning process parameters) 에 대한 사용자 프로그래밍 가능한 설정을 제공하는 컨트롤러로 제어됩니다. 마스크 정렬기는 0.8 미크론까지 해상도를 허용하는 고급 침수 리소그래피 (advanced immersion lithography) 장치를 사용합니다. 이렇게 하면 웨이퍼의 패턴을 정밀하게 배치하고 정렬할 수 있습니다. UX-4440에는 마스크의 로드, 정렬 및 노출을위한 내장 전동 기계가 있습니다. 이는 반복 가능하고 신뢰할 수있는 마스크 포지셔닝을 허용하는 반면, 프로그래밍 가능한 필드 간 프로토콜은 불균일 한 이미지를 처리하고 노출 변화를 줄입니다. UX 4440에는 또한 정확도를 향상시키고 나노 미터 반복성을 달성하는 데 사용되는 4 축 진동 헤드 스테이지가 있습니다. 이 기능은 또한 마스크 슬립 문제를 제거하고 위치 반복 가능성을 향상시킵니다. 또한, 200 Hz 가열 회로가 도구에 포함되어 있으며, 이 회로는 크립 (creep) 및 왜곡 (distortion) 과 같은 문제를 처리하도록 미세 조정 및 조정 할 수 있습니다. 안전성과 편의를 위해 USHIO UX-4440에는 내부 부식 내성 스테인리스 챔버 (stainless chamber), 자동 안전 차단 (safety shoff) 및 최적의 마스크 보호를 위해 조절 가능한 압력 영역이있는 질소 제거 에셋이 있습니다. 또한이 모델의 모든 구성 요소는 인증을 받았으며 EU 직업 건강 및 안전 (Occupational Health and Safety) 표준을 초과합니다. 마지막으로, 사용하기 쉬운 제어 인터페이스 (control interface) 를 사용하면 모든 매개변수와 작동 조건을 직관적이고, 빠르고, 효율적으로 설정할 수 있습니다. 이것은 USHIO UX 4440의 뛰어난 기능과 함께, 다양한 nanofabrication 및 microfabrication 작업에 적합한 선택입니다.