판매용 중고 USHIO UX-4240 #9364547
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USHIO UX-4240은 반도체 칩 생산에서 사진 해설에 사용되는 최고 마스크 정렬 자입니다. 이 제품은 칩 제조 프로세스 (chip-making process) 에 광범위한 응용 프로그램을 갖춘 매우 정확하고 신뢰할 수 있는 도구입니다. 이 장비는 정밀 광학 및 마이크로 기계식 시스템을 사용하여 고해상도 패턴을 감광 표면에 정확하게 노출시킵니다. USHIO UX 4240은 주로 실리콘 웨이퍼, 액정 디스플레이, 포토 마스크 등의 기판에서 집적 회로를 패턴화하는 데 사용됩니다. 읽기 쉬운 디지털 디스플레이, 조이스틱 제어 시스템, 선택 가능한 웨이퍼 히팅 스테이션 (wafer heating station) 등 다양한 사용자 친화적 기능을 갖추고 있습니다. 주요 장점으로는 최대 0.2 유로의 높은 정렬 정확도, 깊은 UV 광원, 마스크 검사를위한 적외선 레이저 등이 있습니다. 이 장치는 3축 배치 단계를 사용하여 중간 서피스를 정확하게 스캔하고 노출시킵니다. 스테이지는 닫힌 루프 (closed-loop), 자동 초점 (auto-focusing) 모드에서 작동하여 마스크가 정확하게 배치되고 노출되도록 합니다. 기계는 온보드 컨트롤러 (Onboard Controller) 에 의해 제어되며, 이를 통해 사용자는 다양한 매개변수와 설정을 액세스할 수 있습니다. 이 도구는 펜타 프리즘 조명기 (pentaprism illuminator) 를 사용하는데, 이 조명기는 초고압 수은 호를 사용하여 깨끗하고 안정적인 광원을 제공합니다. 이 자산은 또한 박막 (thin film) 및 기타 재료를 상당한 균일성으로 증착 할 수 있습니다. 또한, 여러 카메라와 렌즈가 동일한 광원과 경쟁 할 때 발생할 수있는 그림자 효과 (shadowing effect) 를 해결하면서 반복 가능한 높은 정확도를 보장합니다. 안전성 (Safety Features) 측면에서 볼 때, 이 모델은 물질과 운영자가 모두 해를 입지 않도록 보호하기 위해 차체 (Shutter) 와 같은 다양한 안전 기능 (Shutter) 으로 설계되었습니다. 그 에 더하여, 장비 는 장비 의 손상 을 방지 하기 위해 "챔버 '의 압력 수준 을 조절 하는" 시스템' 을 갖추고 있다.
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