판매용 중고 USHIO UX-4240 #9364546

USHIO UX-4240은 반도체 장치 제조를위한 최첨단 마스크 정렬기입니다. 이 장비는 광학 마스크와 웨이퍼를 고속으로 정확하게 정렬하도록 설계되었습니다. 4축 모션 스테이지가 장착되어 있어 빠르고 정확한 패턴 정렬이 가능합니다. 이 시스템에는 정확한 제어를 위해 자동 초점 및 정렬 카메라 시스템도 포함되어 있습니다. USHIO UX 4240은 deep-UV, laser-doped, electron-beam 및 nanoimprint lithography를 포함한 다양한 패턴 기술 용도로 다양한 광원을 사용합니다. 속도, 가속 및 방향을 제어할 수있는 매우 동적 빔 스캐닝 장치 (dynamic beam scanning unit) 를 갖추고 있어 매우 정확한 패턴화가 가능합니다. 이 기계는 복잡한 설계 규칙 (design rules) 을 사용하더라도 작고 넓은 패턴 영역에 일관된 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 또한 웨이퍼에 얇은 저항 필름 레이어를 만들기 위해 유도 결합 플라즈마 (ICP) 스퍼터링 기술을 갖추고 있습니다. 생산성 향상을 위해 UX-4240은 마스크 정렬, 도량형 및 화학을 동시에 사용할 수있는 4 챔버 디자인을 갖추고 있습니다. 이를 통해 웨이퍼당 처리 속도를 높이고 비용을 절감할 수 있습니다. 또한 추가 패턴 정렬 정확도를위한 웨이퍼 처킹 단계도 포함됩니다. 이 도구에는 기존 잔류 층을 제거하기위한 레이저 저항 제거 에셋도 포함되어 있습니다. UX 4240 은 높은 가동 시간을 제공하도록 설계되었으며, 완벽한 원격 액세스 및 유지 보수 기능을 제공하여 서비스 편의성을 향상시킵니다. 이 모델에는 웨이퍼를 쉽게 정렬하고 검사하기위한 디지털 현미경이 포함되어 있습니다. 이를 통해 향상된 수율로 일관된 장치 품질을 얻을 수 있습니다. 이 장비는 또한 고급 안전 (Safety) 기능과 생산성 향상을 위한 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 갖추고 있습니다. USHIO UX-4240 은 광학 마스크와 웨이퍼를 빠르고 정확하게 정렬하도록 특별히 설계된 고급 시스템입니다. 고속, 동적 빔 스캐닝 (dynamic beam scanning) 기능, 동시 마스크 정렬 및 도량형, 간편한 서비스 기능을 통해 반도체 장치 제조에 이상적인 솔루션이 됩니다.