판매용 중고 TAMARACK 191 #9181537
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TAMARACK 191은 레티클과 함께 사용하도록 설계된 마스크 정렬 자입니다. 최소 단계 크기가 0.5m, 최소 오버레이가 0.25m 인 강력한 2 스테퍼 포지셔너입니다. 191의 주요 기능은 정확한 광학 사진 해설을 달성하는 것입니다. 고급 센서 메카닉 (advanced sensor mechanics) 을 사용하여 웨이퍼의 구성 요소를 제작하기 위해 정렬된 레티클에서 웨이퍼 스테이지로 데이터를 정확하게 전송합니다. 일련의 광학 센서는 패턴과 함께 작동하여 노출 전에 정밀한 정렬을 보장합니다. 여기에는 적외선 레이저, 간섭 측정 (interferometric measuration) 및 디지털 이미징 기술 (digital imaging technology) 의 조합이 포함되어 있어 정렬의 정확성을 감지하고 마스크 정렬기에 정렬 보정 피드백을 제공합니다. 사용자는 레티클 크기, 정렬 정확도, 기울기/기울이기, 노출 설정 등의 매개변수를 제어할 수 있습니다. 이를 통해 레티클을 미세 조정 된 프로세스 요구 사항에 정확하게 일치시킬 수 있습니다. 이 시스템에는 25 개의 위치 자동 인덱서 (Auto Indexer) 가 포함되어 있으며, 이는 일련의 2 단계 위치를위한 용량이있는 로봇 팔이며 2 개의 레티클 사이를 자동으로 교환 할 수 있습니다. 정렬 프로세스에 대한 빠른 속도, 반복 가능성 및 정확성을 제공합니다. 또한 TAMARACK 191에는 여러 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 가장 작은 기능을 정확하게 감지하는 자동 초점 (Autofocus) 시스템이 장착되어 있습니다. 0.5m까지 패턴 기능에 중점을 둘 수 있습니다. 191은 Si, GaAs, LiNbO3, GaN 및 GaP와 같은 다양한 기판과 함께 사용할 수 있으며 최대 300 ° C의 온도를 처리 할 수 있습니다. TAMARACK 191은 고수율, 높은 정밀도, 높은 처리량 장치를 생산할 수 있는 탁월한 선택입니다. 높은 정확성, 반복성, 자동화 기능을 갖춘 하이엔드 (High-End) 운영 실행을 위한 완벽한 툴입니다.
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