판매용 중고 TAMARACK 162 #9397213

타마 랙 (TAMARACK) 162 (TAMARACK 162) 는 매우 높은 정밀도로 집적 회로 제작을위한 고해상도 광석학 패턴화를 생성하는 데 사용되는 고급 마스크 정렬 자입니다. 162 는 움직이는 "레이저 '반점 을 이용 하여 연속적 인 접촉 노출 과정 을 수행 하는" 마스크' 정렬 장치 이다. 이 유형의 마스크 정렬기 (mask aligner) 는 기존의 접촉 노출 시스템보다 훨씬 정확하여 2 미크론 이하의 노출 해상도를 허용합니다. TAMARACK 162는 노출 해상도 0.5 m 이하의 고해상도 패턴을 제공하도록 설계되었습니다. 이러한 정밀도는 작동식 x-y 위치 체계 (actuated x-y positioning system) 에 의해 달성되며, 고해상도 이미징을 유지하기 위해 스캐닝 레이저 포커스를 활용하면서 구성 요소를 0.1m까지 정밀 정렬할 수 있습니다. 162는 또한 단일 기판에서 다양한 패턴 크기와 깊이를 허용하는 유연한 패턴 (flexible patterning) 단계를 사용합니다. TAMARACK 162 (TAMARACK 162) 는 복잡한 사진 분석 패턴을 빠르고 정확하게 생성 할 수있는 사용자 친화적 인 마스크 정렬 자입니다. 터치 스크린 컨트롤 (touch-screen control) 을 사용하는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스와 정확한 포지셔닝을 위한 임베디드 모션 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 162에는 내부 자동 노출 모니터링 및 최적화, 웨이퍼/기판 처리를위한 자동 로드 시스템, 마스크 로드 및 언로드 용 자체 관리 로봇 암 (arm) 도 있습니다. 고해상도 이미징 기능, 사용자 친화적 인 인터페이스 외에도, TAMARACK 162 는 비용 효율을 고려하여 설계되었습니다. 프로세스 자동화 (process automation) 및 통합 생산성 모니터링 기능을 통해 처리량을 극대화할 수 있으며, spintronics, MEMS, microfluidics, photonics 등 다양한 공통 디바이스 구성 요구 사항에 유연한 소프트웨어를 사용할 수 있습니다. 전체적으로, 162는 기술적으로 까다로운 프로세스와 어플리케이션에 이상적인 선택이며, 고도의 정밀도 사진 (photolithography) 패턴화가 필요합니다. 고해상도 스테이지, 로보틱스, 자동화된 기능을 통해 빠르고 정밀한 포토마스크 (photomask) 조립과 정렬이 가능하므로 고밀도 웨이퍼 제작에 이상적인 솔루션입니다.