판매용 중고 TAMARACK 162 #9270120

TAMARACK 162는 웨이퍼 결합 및 마이크로 일렉트로닉 응용 모두에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 소형 "칩 '에서 대형" 칩' 에 이르는 여러 가지 기판 을 정확 하게 정렬 할 수 있는 기능 을 제공 한다. 장비는 화강암 베이스에 장착 된 정밀 스테핑 모터 구동 x 및 y축 단계를 사용합니다. 고해상도 비디오 카메라에 의해 구동되는 독자적인 패턴 인식 (pattern recognition) 알고리즘은 기판 패턴을 빠르게 분석하여 원하는 피쳐를 식별하고 정렬합니다. 유연성과 반복성이 뛰어난 정밀도 (precision) 와 속도 (speed) 를 통해 다양한 정렬 프로세스를 달성할 수 있습니다. 시스템의 작업 면적은 500mm x 400mm이고 기판 면적은 266mm x 200mm입니다. 장치의 정확한 X축 해상도는 0.5m이고 Y축 해상도는 1.0m입니다. 이 단계는 세라믹 부품 및 공기 흐름 냉각을 통합하여 열 드리프트를 최소화하도록 설계되었습니다. 또한 기계는 블라인드 정렬 시도를 제거하기 위해 [빼기 삽입] 을 제공합니다. 162에는 고급 fiducial 인식 도구와 더 큰 정렬 제어를 위한 IR 가열 (옵션) 도 포함되어 있습니다. fiducial 인식 기능을 사용하면 에셋이 솔더 범핑 (solder bumping) 과 같은 피쳐를 식별하고 정렬하고 구멍을 통해 도금할 수 있습니다. 옵션 IR 난방 (IR heating) 은 웨이퍼에 일관된 열 상태를 제공하여 뒤틀린 기판의 정렬 정확도를 향상시킵니다. 이 모델에는 웨이퍼 준비 도구, 패턴 인식, 동작 정의 등의 사용자 친화적 인 인터페이스도 있습니다. 운영자는 도구 선택, 모양 생성, 반복 기능 등의 기능을 지원하므로 생산성과 효율성이 최적화됩니다. 모든 매개변수가 설정되면 시스템 소프트웨어 인터페이스 (system software interface) 를 통해 정렬 프로세스를 시작하고 모니터링할 수 있습니다. TAMARACK 162는 일반 광학 마스크 제작에서 플립 칩, 3D 칩 스태킹 및 PoP (Package on Package) 와 같은 고급 기술에 이르기까지 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 가장 까다로운 애플리케이션의 운영 요구를 충족할 수 있도록 설계되었습니다. 162는 모든 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있는 뛰어난 반복성, 정확성, 안정성 및 유연성을 제공합니다. 대용량 및 복잡한 애플리케이션을 위한 최고의 마스크 조정기 (mask aligner) 솔루션입니다.