판매용 중고 TAMARACK 162 #9214870

TAMARACK 162는 연구 및 마이크로 패브라이케이션에 사용되는 photolithography 프로세스의 자동 정렬 단계입니다. 단일 단계 프로세스와 여러 마스크에 이상적인 완전 자동화, 높은 처리량, 정밀 마스크 정렬 (precision mask aligner) 입니다. 162는 마스크 정렬 정밀도 및 신뢰성을 가능하게 하는 여러 가지 주요 컴포넌트로 구성됩니다. 주요 구성 요소로는 단일 마스크 스테이지, 미세 스테이지, 프레임 선택 스테이지, 고정밀 모션 제어 장비, 코로나그래프 등이 있습니다. 단일 마스크 스테이지는 최대 10 개의 플랫 마스크를 지원하는 반면, 미세 스테이지는 1도 세분화됩니다. 프레임 선택 단계를 사용하면 마스크 테이블에서 웨이퍼나 기판을 정확하게 배치할 수 있습니다. 동작 제어 시스템 (motion control system) 을 사용하면 샘플과 마스크를 정밀도로 정확하게 정렬할 수 있습니다. 코로나 그래프는 TAMARACK 162의 가장 뚜렷한 특징입니다. 특허받은 레이저 장치 (Laser Unit) 와 고급 이미징 기술 (Advanced Imaging Technology) 은 내부 교정기를 사용하여 웨이퍼 기판에서 마스크 패턴을 찾고, 4 대의 카메라를 사용하여 마스크 패턴을 기판에 투영하는 이미징 프로세스를 갖추고 있습니다. 162는 SU-8, 실리콘, 폴리 이미 드 및 쿼츠를 포함한 다양한 유형의 응용 프로그램과 매우 호환됩니다. 또한 정확한 위치 측정, 고속 이미지 처리, 프로세스 모니터링, 필요에 따라 수정 기능 등 전체 도량형/프로세스 제어 기능을 제공합니다 (영문). 높은 정밀도 모션 컨트롤 도구 (motion control tool) 와 코로나그래프 (coronagraph) 로 인해 매우 정확하고 재현 가능합니다. 또한 단일 단계 프로세스 (single step process) 이기 때문에 비용을 절감하며, 여러 마스크를 효율적으로 처리할 수 있습니다. TAMARACK 162는 연구 또는 산업 규모 마이크로 분류 프로세스에 이상적인 장비 선택입니다. 즉, 보다 빠르고 정확한 프로세스를 실현하는 동시에, 결과물에 대한 품질 관리 기능을 강화합니다.