판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML PE SVGL #9191660

SVG / PERKIN ELMER / ASML PE SVGL
ID: 9191660
Mask aligner.
SVG/PERKIN ELMER/ASML PE SVGL은 실리콘 칩의 회로를 제작하고 패턴화하는 데 널리 사용되는 다기능 마스크 정렬기입니다. 정밀하고 정확한 마스크 등록 및 정렬, 정밀한 다이-투-다이 패턴화 (die-to-die patterning) 등 다양한 기능을 수행 할 수 있습니다. 이 시스템에는 노출, 코팅, 패턴, 스태킹 (de-stacking) 과 같은 정확한 리소그래피 응용 프로그램이 가능한 두 개의 컴퓨터 제어 스테이지가 장착되어 있습니다. 이 단계는 모든 방향으로 최대 9 나노 미터 (nanometer) 의 자동 이동을 가능하게 하는 지능형 알고리즘으로 구동되며, 높은 정확성과 반복 성을 보장합니다. 내부 스캐닝 현미경은 패턴, 결함 검사, 크로스해칭 코너 등을 관찰하도록 설계되었습니다. 오차 (misalignment) 를 방지하여 오류로 이어지며, 연산자가 빠르고 정확하게 매개변수를 조정할 수 있도록 합니다. "마스크 '가" 에칭' 과정 의 최적 위치 에 있게 해주는 자동 정렬 "시스템 '도 현미경 에 포함 된다. 소형 크기에도 불구하고 SVG PE SVGL은 광범위한 고급 기능을 제공합니다. 여기에는 사용자가 신속하게 작업을 구성할 수 있는, 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스가 포함되어 있습니다. 이 시스템은 GDSII, OASIS 및 기타, 노출 설정, 척 온도 조절, 통합 열 이미징 등 다양한 마스크 패턴을 제공합니다. 그것 은 대부분 의 "포토레지스트 '재료 와 함께 사용 할 수 있어서, 광범위 한 응용 에 적합 하다. ASML PE SVGL (ASML PE SVGL) 이 지원하는 높은 처리량 및 자동화를 통해 대용량 생산에 적합한 솔루션으로, 운영자가 다른 처리 매개변수로 빠르게 전환하고 수익률을 최적화할 수 있습니다. 업계 표준을 능가하는 정확한 결과를 제공하는 뛰어난 실적 (Track Record) 을 자랑한다. 마지막으로, 세계적 수준의 고객 지원 (Customer Support) 을 통해 고객이 필요할 때 신뢰할 수 있고 지식이 풍부한 지원을 받을 수 있습니다.
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