판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML PE SVGL #9187411

SVG/PerkinElmersVG/PERKIN ELMER/ASML PE SVGL은 석판화를위한 반도체 산업에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 이 장치 는 "마스크 '(photomask 또는 reticle) 에" 패턴' 을 놓아 "실리콘 '이나 유리 와 같은 기판 에 정확 하게 전달 하는 데 사용 된다. SVGL 은 여러 수준의 패턴 (Pattern) 을 매우 정확하게 정렬할 수 있으므로 결과 칩 설계에서 높은 해상도를 얻을 수 있습니다. 또한 SVGL에는 최적의 이미지 해상도를 위해 웨이퍼 (wafer) 및 레티클 (reticle) 표면에 집중할 수있는 고급 광학 장비가 있습니다. "SVGL '은 리소그래피' 공정 전체 를 인도 하기 위하여" 레이저 스티어러 '를 사용 하여 각 전사 단계 를 정확 히 제어 할 수 있다. 스캐닝 선형 모터는 스테이지의 매우 정확한 이동을 가능하게 합니다. 정렬 신호는 모서리 측정을 기반으로 하며, 위치 데이터를 생성합니다. 이 장치는 또한 높은 수준의 정밀도를 유지하면서 개별 구성 요소 변형을 보상 할 수 있습니다. SVGL의 온보드 이미징 시스템은 패턴 스위칭 및 기판 이동 측정과 같은 자동 정보를 위해 듀얼 카메라를 사용합니다. SVGL용 제어 장치는 컨트롤러의 전용 소프트웨어 패키지로 프로그래밍할 수 있습니다. 이 제어 머신을 사용하면 기판 및 레티클 위치, 광학 설정, 레이저 조향기 제어, 프로세스에 필요한 사용자정의 설정 등의 매개변수를 사용자정의할 수 있습니다. 이것이 SVGL이 종종 생산 라인에서 사용되는 이유입니다. SVGL은 예측 및 예방 유지 관리 기능도 제공합니다. 이 장치는 하루에 3500 개 이상의 웨이퍼 위치에 사용할 수 있으며, 칩의 결함을 최대 30% 까지 줄일 수 있습니다. 또한 사용하기 쉬운 그래픽 인터페이스와 높은 정확도를 제공합니다. 결론적으로 ASML/PerkinElmerSVG PE SVGL은 반도체 리소그래피에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 정밀 정렬을위한 레이저 스티어러 (laser steerer) 와 정확한 위치 지정을위한 스캐닝 선형 모터 (scanning linear motor) 가 특징입니다. 또한 SVGL은 고급 이미징 도구, 프로그래밍 제어 자산, 예측/예방 유지 관리 기능, 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 높은 수준의 정밀도로 인해, SVGL은 칩 설계에서 고해상도 (high-resolution) 결과를 달성하려는 사람들에게 훌륭한 선택입니다.