판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign #9073862

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign은 마이크로 일렉트로닉스의 마스크 정렬 자입니다. 집적 회로 및 기타 유형의 반도체 부품의 제조 과정에서 반도체 석판화 마스크 (lithographic mask) 를 정확하게 배치, 정렬하는 데 사용되는 정밀 정렬 장비입니다. 그것 은 "리토그래피 '공정 의 중추 역할 을 하기 때문 에" 웨이퍼' 제조 공정 의 핵심 이다. SVG Micralign은 테이블, 스테이지, 광학 시스템 및 2 개 이상의 카메라로 구성됩니다. 최대 5개의 독립 마스크 레이어를 배치하고 정렬할 수 있습니다. CCD 카메라는 개별 마스크 레이어의 이미징 포인트를 감지하는 데 사용되며, 추가 정렬 정확도를 위해 다양한 방법 (예: fiducial marker) 이 사용됩니다. 이 장치에는 마스크 레이어의 자동 정렬을위한 프로그래밍 가능한 모터 드라이브 스테이지 (motor drive stage) 도 포함되어 있습니다. ASML Micralign에는 정확한 정렬을 위해 현미경 객관식 렌즈, 원격 중심 렌즈, 편광 빔 스플리터 (polarizing beam splitter) 와 같은 고급 광학 도구가 장착되어 있습니다. 편광 빔 스플리터 (polarizing beam splitter) 는 재료나 레이어가 다른 두 마스크를 동시에 감지 할 수 있습니다. 현미경 오브젝티브 렌즈 (microscope objective lens) 는 이미지를 증폭시키기 위해 사용되며, 원격 센터 렌즈 (telecentric lens) 는 장치의 시야 전반에 걸쳐 균일 한 초점을 보장합니다. Micralign은 자동 패턴 인식 (Automatic Pattern Recognition) 을 포함하여 다양한 정렬 모드와 비접촉 정렬 기능을 제공하며, 이 기능은 CCD 이미지를 정렬점에서 빠르고 정확하게 제로인으로 활용합니다. PERKIN ELMER Micralign (PERKIN ELMER Micralign) 은 마스크 레이어를 빠르고 정확하게 정렬하여 중요한 등록 매개변수의 반복성과 정확성을 보장합니다. 또한 SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign은 빠른 마스크 정렬을 위한 실시간 Intelli-Align 머신과 정밀한 정렬을 위한 광 피드백을 포함한 프로세스 및 생산성 이점을 제공합니다. 또한 다양한 포지셔닝, 이미지 처리, 정렬 기능을 통해 프로세스를 더욱 효율적으로 수행할 수 있습니다. 전반적으로 SVG Micralign은 마이크로 일렉트로닉스 제작 공정의 필수 마스크 정렬 자입니다. 다양한 정렬 도구와 기능을 제공하여 정확하고 반복 가능한 마스크 레이어 (mask layer) 정렬을 지원합니다. 고급 이미징 도구, 실시간 인텔리얼 정렬 (Intelli-Align) 도구, 프로세스 및 생산성 장점을 비롯한 주요 기능을 통해 안정적이고 귀중한 정렬 툴이 됩니다.