판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700 #9232857

SVG의 SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700은 모든 반도체 및 관련 사진 리소스에 대한 전력 및 정확성을 제공하는 마스크 정렬 자입니다. 이 고정밀 기기는 마스크 패턴을 정렬하고 검사하기 위해 설계된 것으로, 반도체 제조를 위한 완벽한 도구입니다. SVG Micralign 700 (SVG Micralign 700) 은 나노 레벨 범위에서 높은 정밀도로 2 개 이상의 마스크를 정렬 할 수있는 고급, 완전 자동 스캐닝 광학 이미징 장비입니다. 이 스캔 시스템은 마스크 패턴을 동시에 획득, 정렬 및 검사할 수 있습니다. 또한 1 노출 및 2 노출의 두 가지 작동 모드가 있습니다. 이 종합 장치에는 또한 HPMA (High Precision Mask Aligner) 가 포함되어 있어 기본 노출 프로세스 전에 여러 마스크를 쉽게 정렬할 수 있습니다. ASML Micralign 700은 요구 사항을 충족하기 위해 높은 처리량과 정확성을 보장합니다. 최대 4 x 5 인치 (최대 4 x 5 인치) 의 시야가 매우 커서 마스크 복제 시간이 크게 단축됩니다. 또한, 앨리어싱 소음이 적은 높은 정밀도 moiré 프린지 머신은 소스 이미지와 대상 이미지 사이의 빠르고, 정확하고, 안정된 정렬을 보장합니다. 이 시스템은 또한 전체 시야에 대한 높은 정확도와 15발의 피치 정렬 정확도 (pitch alignment accuracy) 를 가진 증강 된 레이저 정렬 시스템과 경쟁합니다. PVC-1000T 교정기 (calibator) 는 모든 장비의 매개변수가 지속적으로 검사되고 모든 컴포넌트가 완벽하게 정렬되었는지 확인합니다. 내장형 고해상도 CCD 카메라 도구를 사용하면 무접촉 마스크 검사도 가능합니다. 또한, 내장, 제어 환경 자산은 모든 필수 매개 변수를 최적의 값으로 유지합니다. PERKIN ELMER Micralign 700은 안전과 사용자 친화적 운영에 최적화되었습니다. 사용이 간편한 통합 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 운영자와 모델 간에 손쉽게 통신할 수 있습니다. 또한 자동 차단, 내장 암흑 모니터, X 선 탐지기, 스파크 (spark) 또는 플라즈마 발전기 탐지 장비 등의 일련의 안전 시스템은 사용자와 장비를 손상으로부터 보호하기 위해 함께 작동합니다. Micralign 700 (Micralign 700) 은 최고의 프로토콜 성능과 정확성을 보장하므로 모든 반도체 생산에 적합한 툴입니다. 반도체 업계의 마스크 정렬 (mask alignment) 과 검사 (inspection) 요구 사항에 대한 효과적이고 혁신적인 솔루션을 제공합니다.