판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700 #293619654

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700은 마스크 정렬 자입니다. 마스크 정렬 자입니다. 마이크로일렉트로닉 장치를 생산하는 동안 리소그래픽 레티클의 정확한 배치 및 정렬에 사용되는 기계입니다. SVG Micralign 700 (SVG Micralign 700) 은 반도체 웨이퍼에서 다양한 치수와 피쳐의 마스크를 정렬하여 회로 패턴의 정확한 위치화 및 정렬을 가능하게 하는 다용도 도구입니다. 이 기계는 레티클과 웨이퍼 스캐닝을위한 카메라 장비, 이중 선형 정렬 시스템, 웨이퍼 (wafer) 와 관련하여 레티클의 정확한 위치 지정 및 정렬을위한 6 축 로봇, 스캔 작업의 높은 정확성과 반복성을 위한 자동 초점 장치 (autofocus unit) 로 구성됩니다. 6 축 로봇은 3 개의 상호 수직 방향 (X-Y-Z) 으로 리토 그래피 레티클의 수동 배열을 허용합니다. ASML Micralign 700에는 2 개의 스캐닝 헤드가 있으며, 하나는 최대 25cm (10 인치) 의 더 큰 레티클과 최대 10cm (4 인치) 의 작은 마스크입니다. 카메라 머신은 BLD (Blue Laser Diode) 이미징 기술을 사용하여 레티클과 웨이퍼를 정확하게 스캔하여 스테이지에 대한 뛰어난 SNR (> 300) 및 높은 회전 속도를 초당 최대 3 턴으로 제공합니다. 자동 초점 도구는 MEA (Multiple Exposure Algorithm) 를 기반으로하며 Z축 스캔 자산을 사용하여 잔류 이미지 왜곡을 빠르고 정확하게 측정합니다. 이를 통해 웨이퍼와 관련하여 레티클의 정확한 배치 및 정렬 (< 5 나노 미터) 을 반복 할 수 있습니다. Micralign 700에는 옵션 HCS (Hydraulic Chuck Model) 가 있습니다. HCS (Hydraulic Chuck Model) 는 정렬 작업 중에 웨이퍼를 고정시켜 웨이퍼와 관련하여 마스크의 정확한 정렬에 필수적인 안정성을 제공합니다. HCS 는 추가 툴을 사용할 필요 없이 wafer in place 를 안전하게 보호할 수 있는 조절식, 공구가 필요 없는 솔루션을 제공합니다. PERKIN ELMER Micralign 700 (PERKIN ELMER Micralign 700) 은 웨이퍼와 관련하여 레티클을 정확하고 반복적으로 정렬 할 수있는 강력하고 다양한 도구입니다. 기계의 매우 정확한 BLD 카메라 장비 및 MEA 자동 초점 시스템은 스캐닝 작업에서 뛰어난 정밀도를 보장하는 반면, HCS (옵션) 는 정렬 작업 중에 웨이퍼가 고정되고 안전하게 유지됩니다. < 5 나노 미터의 배치 반복 가능성으로, SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700은 정교한 마이크로 전자 구성 요소를 제작하는 데 없어서는 안될 도구입니다.