판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700 #293618523

SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700
ID: 293618523
웨이퍼 크기: 6"
Mask aligner, 6".
SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700은 정확한 VLSI 웨이퍼 제작을 위해 사진 촬영에 사용되는 고정밀도 마스크 정렬기입니다. SVG Micralign 700은 최첨단 아연 도금 조절 및 정확하고 반복 가능한 등록을 통해 뛰어난 정렬 정확도를 제공합니다. 생산성 및 유연성을 극대화하기 위해 설계된 이 장비는 운영 (Production) 및 리서치 (Research) 애플리케이션의 정확한 요구 사항을 충족할 수 있는 광범위한 기능과 기능을 제공합니다. 이 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 반도체 웨이퍼에 복잡한 패턴을 만들 수 있는 정확하고, 안정적이며, 빠른 도구입니다. 시스템의 2 축 은하계 스캔 장치를 사용하면 최대 500 개의 정렬 마커를 빠르고 정확하게 등록 할 수 있습니다. 또한 한 번에 최대 5 개의 플렉스 및 플랫 마스크를 수용 할 수 있습니다. ASML Micralign 700 은 빠르고 정확하며 반복 가능한 등록을 통해 마스킹 작업을 단순화하고 가속화합니다. 또한 Micralign 700에는 자동 렌즈 머신 (automated lens machine) 이 장착되어 있어 마스크에서 마스크로 이동할 때 최적의 정렬을 위해 optic을 빠르고 정확하게 조정합니다. 또한 정렬을 검사하고, 서브 미크론 오정렬 식별을위한 고해상도 이미징 도구 (high-resolution imaging tools) 와 자산의 작은 차이를 측정하고 수정하기위한 고정밀 레이저 간섭계 (high-precision laser interferometer) 가 있습니다. 이 모델에는 반도체 사진 촬영에 적합한 몇 가지 주요 기능 (정밀한 정렬을 위한 고속 크로스라인 레이저, 직관적인 사용 편의성 (use-of-use) 을 제공하는 직관적인 사용자 인터페이스, 최적의 정확성과 반복성을 제공하는 기계적 장비 등) 이 있습니다. 요약하면, PERKIN ELMER Micralign 700은 반도체 웨이퍼 제조의 정확한 요구 사항을 충족하도록 설계된 강력하고, 정밀하며, 정확도가 높은 마스크 정렬기입니다. 빠른 등록을위한 2 축 은하계 스캐너, 정렬 검사를위한 고해상도 이미징 시스템, 작은 정렬 분산을 측정 및 수정하기위한 고정밀 레이저 간섭계가 특징입니다. 고급 기능을 갖춘 이 제품은 미세 정렬 (Fine Alignment) 및 회로 수준 (Circuit Level) 정확성을 위한 탁월한 선택입니다.
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