판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 651HT #156275

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 651HT는 반도체 제조 공정에서 반도체 웨이퍼에 대한 포토 마스크를 빠르고 정확하게 정렬하도록 설계된 마스크 정렬기입니다. 높은 정확도와 처리량이 필요한 운영 환경에 적합합니다. SVG Micralign 651HT는 4 인치 시야를 가진 웨이퍼 레벨 스테퍼로, 최대 1 ° m 픽셀 크기의 해상도를 제공합니다. 145mm 마스크 크기의 대형 마스크 전송 메커니즘이 특징입니다. 이 장비에는 3 개의 광학 측정 하위 시스템이 장착되어 있으며, 이는 이미지 대비, 거시적 높이 프로파일 및 현미경 초점 위치를 측정합니다. 자동 마스크 배치에 사용할 수있는 2 축 스테이지 시스템을 사용하여 등록 정확도 0.7 도 (m) 로 빠르고 정확하게 정렬합니다. 통합 장치 컨트롤러에는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스와 사용하기 쉬운 프로그래밍 언어가 있습니다. ASML Micralign 651HT는 리소그래피, 광학 검증, 표면 검사 등 다양한 응용 프로그램을 처리하도록 설계되었습니다. 뜨거운 엠보싱 및 기판 결합에도 사용할 수 있습니다. 사용자 인터페이스를 통해 효율적인 마스크 정렬을 위해 정렬 레시피를 프로그래밍, 저장 및 검색할 수 있습니다. 기계의 광학은 마모와 진동을 최소화하기 위해 공기 베어링 (air-bearing) 모듈에 보관되어 있으며, 보다 부드럽고 정확한 웨이퍼 정렬이 가능합니다. 고속 이미징 카메라는 빠른 응답 시간과 고정밀 데이터를 제공합니다. 그 광학은 또한 작은 세부 사항을 측정 할 때 배경 노이즈를 줄이기 위해 음향 간섭 필터 (acoustic interference filter) 를 특징으로합니다. 이 도구는 마스크 용량, 가변 패턴 반복, 사용하기 쉬운 프로그래밍 언어로 높은 처리량을 제공합니다. 또한, 광학-기계 현미경, 자동 광학 검사 시스템 등 다른 시스템과 쉽게 통합 할 수 있습니다. 고도로 반복 가능한 정렬 정확도와 저소음 연산 (low-noise operation) 을 통해 운영 환경에 이상적인 솔루션이 됩니다.