판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 600 #9357224

SVG/PERKINELMERSVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 600 Mask Aligner는 하이브리드 사진 분석 응용 프로그램에 사용되는 완전 자동화 된 고성능 정렬 장비입니다. 다파장 투영 장치 (multi-wavelength projection unit) 를 사용하여 광학적으로 기록 된 패턴이나 모양을 포토마스크에서 기판으로 투영하는 리소그래피 시스템입니다. 이를 통해 고정밀 반도체 장치를 구성 할 수 있습니다. 자동화된 정렬 및 빠른 패턴화 성능으로 인해 기계는 산업 회로 생산, 의료 기기 생산, 반도체 칩 제작 (FIP) 과 같은 응용 분야에 이상적입니다. 공구의 엔진은 이중 파장 투영 정렬 에셋입니다. 마스크 및 기판에 있는 여러 참조 점을 동시에 조명합니다. Photomask (Photomask) 는 기판에 마스크 패턴을 빠르고 정확하게 정렬하는 6축 정렬기 (aligner) 단계에 마운트됩니다. 3 차원 1 원리 정렬 접근법을 사용하여 기판의 어느 시점에서 정확한 정렬이 달성됩니다. 이 모델에는 정밀 piezo 스테이지 드라이브가 포함되어 있으며, 이는 1 마이크로 미터 이상의 위치 정밀도를 제공 할 수 있습니다. SVG Micralign 600에는 고도의 정밀 패턴 (patterning) 소스, 일관된 조명 및 패턴 스케일링 및 해상도를 세밀하게 조정하기위한 고급 레이저 간섭계 장비가 포함되어 있습니다. 이 모든 기능의 조합으로 인해 레거시 정렬자에 대한 등록 정확도가 크게 향상됩니다. 이 제품은 모델 데이터 생성, 정렬, 분석을 위한 다양한 액세서리 (옵션) 와 소프트웨어 프로그램을 갖추고 있습니다. 이러한 옵션 시스템 컴포넌트를 사용하면 도량형, 오버레이 정렬, 결함 검사, 인쇄 잔류 분석 등과 같은 어플리케이션을 매우 정확하게 구현할 수 있습니다. ASML/PERKINELMERASML Micralign 600 Mask Aligner는 까다로운 photolithography 응용 프로그램에 안정적인 정확성을 제공하는 고급적이고 효과적인 장치입니다.