판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 550 #128870

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 550 마스크 정렬 장치는 SVG에서 제조 한 최첨단 정렬 시스템입니다. 이 제품은 반도체 소자 제작, 옵토전자, 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics), 기타 업종과 같은 첨단 기술 응용 분야에 사용하기 위해 설계되었습니다. SVG Micralign 550은 작동 면적이 200mm x 200mm, 시야가 0.2mm, X 및 Y에서 반복성이 0.02mm 인 X-Y 단계를 갖추고 있습니다. 최대 2.5m/s의 속도로 실행되고 반복 가능성이 0.002 인치/s입니다. 스테이지에는 웨이퍼 레벨 처리를 위해 진공 작동 척이 장착되어 있습니다. 이 기계에는 조정 가능한 토크 컨트롤이 장착 된 양방향 서보 모터 (bi-directional servo-motor) 와 보이지 않는 정렬을위한 선형 인코더 (linear encoder) 가 있습니다. ASML Micralign 550은 helium-ion, e-beam, optical 및 laser lithography를 포함한 여러 가지 기술과 함께 사용하도록 설계되었습니다. 또한 Deep-UV 및 Ultra-Violet 프로세싱과 접촉 및 근접 정렬기를 지원합니다. 종합적 인 "소프트웨어 '도구 와" 액세서리' 가 포함 되어 있으며, 그 로 인해 그 기계 를 온전 히 "프로그램 '하고 모니터링 할 수 있다. PERKIN ELMER Micralign 550 (PERKIN ELMER Micralign 550) 은 가장 복잡한 패턴에서 가장 단순한 패턴으로 정렬하기 위해 안정적이고, 반복 가능하며, 정확한 플랫폼을 제공합니다. 또한 풍부한 기능의 마스크와 웨이퍼를 생성할 수 있으며, 실행 시간이 정확하고 정확도가 높은 기능을 제공합니다. 이 시스템은 작업 흐름을 최적화하여 생산량 및 처리량을 높이면서 생산비 (Production Cost) 를 절감합니다. 이 기계는 또한 에너지 효율적이며, 운영 비용이 낮고 다운타임이 최소화됩니다. Micralign 550은 고급 기술 응용 프로그램 사용자에게 이상적인 정렬 솔루션입니다. 매우 정확하고, 효율적이며, 안정적이며, 고품질, 세부적인 마스크, 웨이퍼를 생산할 수 있는 탁월한 플랫폼을 제공합니다.