판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 300HT #157468

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 300HT는 석판 공정을 위해 반도체 산업에 사용되는 고급 마스크 정렬 자입니다. 이 장비는 집적 회로에 사용되는 포토 마스크 (photomask) 의 고해상도와 고밀도 정렬을 보장하도록 설계되었습니다. 포토 마스크 (photomask) 의 정밀 정렬을 보장하기 위해 최첨단 옵틱 및 레이저 기술이 장착되어 있습니다. SVG Micralign 300HT는 정렬을 위해 4 개의 광선을 사용합니다: X축 동작을위한 2 개의 수평 빔, Y축 동작을위한 2 개의 수직 빔. 빔은 일반적으로 디지털 디스플레이 및 기타 하이테크 응용 프로그램에서 사용되는 레이저 다이오드 이중 이종 (laser-diode double heterojunction) 을 사용하여 생성됩니다. 이 "레이저 '는 또한 정밀 주파수" 이터발로미터' 를 갖추고 있어서 정렬 과정 중 에 정확 한 조정 을 한다. 이 시스템은 또한 통합 퍼지 논리 정렬 장치 (fuzzy logic alignment unit) 를 특징으로하며, 포토마스크의 정확한 위치와 상대 오프셋을 모두 고려합니다. 이 기계는 또한 잘못된 정렬로 인한 오류를 보상하도록 설계되었습니다. 이를 통해 웨이퍼에 포토 마스크를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 고출력 현미경을 사용하여 포토마스크 오버레이 (photomask overlay) 의 실시간 미리 보기도 제공되므로 최고 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. ASML Micralign 300HT에는 ColledSurfing Asset이라는 열 이미징 도구도 포함되어 있습니다. 이 모델은 정렬 과정에서 포토 마스크 (photomask) 의 정확한 온도를 모니터링하여 최고 정확도를 보장합니다. 게다가, 또한 "베이 '에서 열 횡단 을 유지 하는 데 도움 이 되며, 이것 은 오류 의 결과 로 발생 하는 결함 있는 집적 회로 의 수 를 현저 히 감소 시킬 수 있다. 전체 장비는 종합적인 소프트웨어 (software) 를 사용하여 관리되며, 이를 통해 정렬 프로세스를 여러 번 조정할 수 있습니다. 따라서 정렬 (Alignment) 프로세스를 세밀하게 조정하여 오류가 발생하지 않도록 하고 최상의 정렬 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로 Micralign 300HT (Micralign 300HT) 는 최고 수준의 정확성과 정확도를 제공하도록 설계된 고급 마스크 정렬기입니다. 그것 의 여러 가지 특징 은 집적 "회로 '처리 에 이상적 인 해결책 이 되며, 이것 은" 포토마스크' 가 "웨이퍼 '에 정확 하고 조밀 하게 맞춰져 있도록 한다.