판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 300 #88758

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 300은 photolithography 프로세스에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 이 특수 도구는 반도체, 디스플레이, 웨이퍼 등의 구성 요소를 제조하는 정확한 도구로 마이크로 일렉트로닉스, 의료 및 생명 공학과 같은 산업에서 사용됩니다. SVG Micralign 300의 사용법은 외부 사진 분석 장비를 기반으로합니다. 이 기계는 고급 단계 (advanced step) 와 반복 (repeat) 프로세스를 제공하여 칩 형상을 photomask에서 기판으로 전송합니다. 10 ~ 20 유로의 정확도로 설계되었으며, 위치 요구 사항이 엄격한 응용 분야에 적합합니다. 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 광원이 Photomask를 통과하는 동안 기판으로 전송할 부분을 선택하여 기능을 수행합니다. 이것은 광학 헤드, 레이저 광원 및 매우 정확한 스테퍼 모터를 포함하는 ASML Micralign 300의 Electro-Optical 시스템에 의해 달성됩니다. 광학 헤드 (optical head) 는 이미지를 정확하게 정해진 위치에 투사하여 잘못 정렬 할 수있는 공간을 제거합니다. 마스크와 기판은 모두 진공 효과가있는 x 단계 홀더에 배치됩니다. 머신의 제어는 x축 및 y축을 따라 정확한 이동을 가능하게 하는 반면, z축 좌표 이동은 기판에 특수 릴리프 구조 (relief structure) 패턴을 생성합니다. 이것 은 광전자 가 노출 되고 발달 될 때 정밀 한 회로 구조 로 인도 한다. 가시 광선 필터 단위 (Visible Light Filter Unit) 는 임의의 외부 광원을 필터링하고 연속체의 원하는 스펙트럼만 사용하도록 합니다. 또한, 모든 작업에 대한 자세한 해상도를 제공하는 액정 디스플레이 화면 (Liquid Crystal Display Screen) 이 있습니다. Micralign 300의 안전 측면에는 진공 및 화학 연동 기계 (Vacuum and Chemical Interlock Machine) 가 포함되어 있어 안전한 작동 및 고정밀 인쇄를 위해 올바른 대기 조건이 유지됩니다. 이 공구는 기판 포지셔너 근처에 위치한 안전 광검출기 (safety photodetector) 에 의해 더욱 보완되어 이동 범위의 극한에 도달하지 못하게합니다. PERKIN ELMER Micralign 300은 예술 도구의 상태이며, 모든 마이크로 일렉트로닉스, 의료, 생명 공학 시설에서 높은 수준의 효율성과 생산성을 보장합니다. 첨단 사양 (advanced specifications) 을 통해 사진 리스토그래피 (photolithography) 프로세스에서 높은 정확도로 복잡한 작업을 수행하는 데 적합합니다.