판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML M641HT #9220746

SVG/PERKIN ELMER/ASML M641HT는 반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 고급 마스크 정렬 자입니다. 자동화된 장비로, 풀 사이즈 7 인치 ~ 8 인치, 소형 8 미크론까지 다양한 마스크 크기를 처리 할 수 있습니다. SVG M641HT 마스크 정렬기는 4-way-breadboard 정렬 시스템을 사용하여 aligner's chamber 내에서 기판, coverslips 및 reticles를 정확하게 찾습니다. 이 단위를 통해 기질 간 정렬 (기판 간) 을 쉽게 달성 할 수 있으며, 이를 통해 기계는 매우 정밀하고 정확하게 작동 할 수 있습니다. 또한, 이 툴은 여러 마스크 정렬자를 지원하여 운영/테스트 요구 사항에 유연성을 제공합니다. ASML M641HT (ASML M641HT) 는 다양한 제어 시스템을 갖추고 있으며, 프로세스를 정확하게 제어할 수 있도록 설계되었습니다. 여기에는 빔 경로, 초점, 노출 제어, 자동 단계 정렬 등이 포함됩니다. 고급 제어 자산 (Advanced Control Asset) 은 또한 프로세스의 품질을 보장하여 고수율 실행을 쉽게 할 수 있도록 합니다. 이 모델은 피라미드 아연 도금계 기반 레이저 장비를 사용하여 균일 한 조명을 제공합니다. 이 "레이저 '는 약 1mW 의 전력 을 생산 하며, 그 광선 반점 은 각기 다른" 레티클' 크기 를 수용 하기 위하여 20 내지 160 "미크론 '의 크기 로 변할 수 있다. 빔 패스의 정밀도는 실시간 (real-time) 으로 조정할 수 있으므로 최대 정렬 정확도를 보장합니다. 이 시스템은 Si, polyimide, GaN, GaAs 등과 같은 다양한 재료와 함께 사용할 수 있습니다. 컨택트 레티클 투 웨이퍼, 오픈 레티클 투 웨이퍼, 현지화 된 역 이중 노출 (LIDE), 플래시 프리 노출 (FFE) 및 멀티 레이어 이미징을 포함한 다양한 이미징 프로세스를 지원합니다. 이미징 기능 외에도 PERKIN ELMER M641HT는 오버레이, CD 허용 한도 측정, 깊이 튜닝 등의 다른 프로세스 단계도 지원합니다. 이를 통해 리소그래피, 증착, 드라이 에칭 (dry etching) 등 다양한 응용 프로그램에 장치를 사용할 수 있습니다. M641HT (M641HT) 는 높은 정확도와 정밀도를 제공하는 자동화된 머신 (automated machine) 인데, 반도체 업체가 고품질 제품을 생산하기 위한 신뢰할 수 있는 도구를 찾는 데 이상적인 제품입니다. 고급 제어 기능과 레이저 자산을 통해 SVG/PERKIN ELMER/ASML M641HT는 대부분의 이미징 프로세스 요구 사항을 처리 할 수 있습니다.