판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML 700 #9122817
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ID: 9122817
웨이퍼 크기: 4"
Mask aligners, 4"
Wafer type: Semi flat
Cassette type: Fluoroware
Version dash-003
Auto fine alignment (AFA)
Automatic variable magnification (AVM)
Auto uniformity slit
Helium management system(HMS)
AIM System
Motorized carousel arm with enhanced control option
Pick and place wafer transport system (PAL)
Mini mag strong shell
Currently warehoused.
SVG/PERKIN ELMER/ASML 700과 같은 마스크 정렬기는 집적 회로 (IC) 생산에 사용되는 장비 유형입니다. SVG 700은 광학 투영을 사용하여 패턴을 기판 표면에 정렬하고 전달하는 데 사용됩니다. 이 기계는 단계 및 반복 (step and repeat) 모드에서 작동하여 실리콘 기판에 에칭된 패턴을 포함하는 여러 개의 포토 마스크 사본 (photomask) 을 생성하고, 또한 전송되는 패턴의 정확도를 측정합니다. ASML 700은 단일 투영 렌즈와 스테인리스 스틸 마스크 테이블 및 서보 메커니즘이있는 2 위치 장비입니다. 이 시스템에는 위치 지정 및 마스크 교환 기능, 숫자 제어 (NC) 장치, 테이블 동작 메커니즘을 허용하는 큰 밀폐 챔버 (closed chamber) 가 있습니다. 이러한 부품을 사용하여 700은 마스크 테이블을 이동하고 조정할 수 있으며, 이를 통해 정밀한 정렬 및 패턴 전송 (pattern transfer) 을 수행할 수 있습니다. 이 정렬은 고해상도 IC 생산에 필수적이며, PERKIN ELMER 700은 높은 정확도로 신뢰됩니다. SVG/PERKIN ELMER/ASML 700은 지능성, 다양성 및 정확성으로 설계되었습니다. 즉, 컴퓨터에 접속하여 데이터를 쉽게 캡처하고 조작 (Manipulation) 할 수 있어 정확성과 일관성을 보장합니다. 이 기계는 최신 기술로 설계되었으며, 빠른 주기 시간, 최소한의 동작 제어 (motion control) 오류가 발생합니다. 정확성을 신뢰하는 SVG 700은 0.25 미크론 해상도로 고해상도 패턴 전송을 수행할 수 있습니다. ASML 700 (ASML 700) 은 사용하기 쉽고 신뢰할 수 있는 마스크 정렬기로, 사용자 편의를 염두에 두고 제작되었습니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 쉽게 프로그래밍, 조정 및 문제 해결 작업을 수행할 수 있습니다. 이 기계는 사용자 정의가 가능하므로 빠르고 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 모듈식 설계를 통해 쉽게 업그레이드할 수 있으며 TCO (총소유비용) 를 절감할 수 있습니다. 700 마스크 정렬기 (mask aligner) 를 사용하면 집적 회로 기술을 생산하는 동안 최적의 정확성과 효율성을 기대할 수 있습니다.
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